ГОСТ 8.594—2009
- параллельность плоскости рельефной меры относительно направления строчной развертки
РЭМ. что подтверждается равенством отрезков Dt и DRна видеопрофилях, приведенных на рисунке 16) и
в).
П р и м е ч а н и е — Процедура проверки установки рельефной меры на рабочем столе РЭМ зависит от его
конструкции и используемого типа катода для получения электронного зонда. В качестве операций, которые прово
дят при такой проверке, могут быть настройка соответствующего значения тока зонда, компенсация астигматизма,
настройка тока объективной линзы, юстировка объективной диафрагмы и др. Поэтому для каждого конструктивного
исполнения РЭМ целесообразно разработать методику проверки установки рельефной меры, определяющую
последовательность операций и визуальные критерии оптимальной фокусировки электронного зонда.
8.2.7Если после проверки по 8.2.6 не получены положительные результаты, то рельефную меру
перемещают на рабочем столе РЭМ полинии элемента рельефа на расстояние, соответствующее раз
меру изображения. Послеэтого операции по 8.2.3—8.2.6 повторяют.
П р и м е ч а н и е — Необходимость перемещения объекта характерна для РЭМ с ларомасляной системой
откачки, в которых за время выполнения операций по 8.2.4 может произойти нарастание слоя загрязнений, искажа
ющего размеры элементов рельефной меры. В высоковакуумных РЭМ и РЭМ с безмасляной откачкой этот эффект
значительно слабее. Необходимость перемещения устанавливают экспериментально на этапе подготовки к повер ке.
При оформлении результатов поверки делают запись о выполнении операций по 8.2.6 и 8.2.7.
8.3 Определение метрологических характеристик
В соответствии с инструкцией по эксплуатации РЭМ выполняют сканирование исследуемого эле
мента рельефной меры. Видеопрофильвыступа рельефной меры представлен нарисунке 16) и в).
8.4 Оформление протокола поверки
Результатыизмеренийпараметроврельефноймеры, приведенныхнарисунке 1б) ив), оформляют
в виде протокола. В протокол также записывают значения общей длины видеопрофиля и электронно-
оптического увеличения РЭМ. определенныхпо 8.2.5. Форма протокола — произвольная.
Протоколс результатами измерений должен храниться как минимумдо следующей поверки РЭМ.
9Обработка результатов измерений
9.1 Вычисление координат контрольных точек на видеопрофило информативного сигнала
микроскопа
Для поверки РЭМ используют расстояние в направлении сканирования в пикселях между конт
рольными точками, которое независит от эффективногодиаметра электронного зонда при выполнении
условия по 7.3.
Расположение контрольных точек 1—4 на видеопрофиле информативного сигнала приведено на
рисунке 16) ив).
Ординатуконтрольной точки 1вычисляют как полусуммуординатточекпервого и второго изломов
в направлении сканирования 0,5 Н, в пикселях.
Ординату контрольной точки 2 вычисляют как полусумму ординат точек третьего и четвертого
изломов в направлении сканирования 0.5 Н2 в пикселях.
Ординатуконтрольнойточки3 вычисляюткак полусуммуординатточекпятогоишестого изломовв
направлениисканирования 0.5 Н2в пикселях.
Ординатуконтрольной точки4 вычисляюткакполусуммуординатточекседьмого и восьмого изло
мов в направлении сканирования 0.5 Н. в пикселях.
По вычисленным значениям ординат определяют соответствующие им значения абсцисс кон
трольныхточек 1—4.
9.2 Вычисление значений вспомогательных отрезков
Значения вспомогательныхотрезковдля низковольтныхили высоковольтныхРЭМопределяютпо
значениям абсцисс контрольных точек, вычисленных по9.1:
A
l
,A
r
— разностьзначений абсциссвторойипервой контрольныхточекичетвертойитретьейкон
трольных точексоответственно в пикселях;
Dl ,D
k
— разность значений абсцисс второгои первого изломов ивосьмого и седьмого изломов на
видеопрофиле соответственнов пикселях.
6