ГОСТ 8.594—2009
УДК 531.711.7.089:006.354МКС 17.040.01Т88.1
Ключевые слова: длина, рельефные меры нанометрового диапазона, растровые электронные мик
роскопы. методика поверки
Реда «тор Т А Леонова
Технический редактор Н.С. Гришанова
Корректор Т.И. Кононенко
Компьютерная верстка И.А. НапеОкииой
Сдано в набор 11.05.2010Подписано в печать 31.05.2010Формат 60-вЛ/&бумага офсетная. Гарнитура
Л
ряап.
Печать офсетная. Уел. печ. я. 1.40. Уч.-изд. л. 1,00. Тирам 119 эм . Зак. 442.
ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ». 123995 Москва. Гранатный пер.. 4
vk-ww.gos!info.ru
info@gostinfo.ru
Набрано во ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ» на ПЭВМ
Отпечатано в филиале ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ» — тип. «Московский печатник», 105062 Москва.
Л
ялин пер . 6.
ГОСТ 8.594-2009