ГОСТ 8.594—2009
3.2 рельеф поверхности (твердого тела): Поверхность твердого тела, отклонения которой от
идеальной плоскости обусловлены естественными причинами или специальной обработкой.
3.3 элемент рельефа (поверхности): Пространственнолокализованная часть рельефа поверх
ности.
3.4
ускоряющее напряжение электронного микроскопа (ускоряющее напряжение): Разность
потенциалов, определяющая энергию электронов в осветительной системе электронного микроско
па.
[ГОСТ 21006—75, статья47]
3.5
изображение во вторичных электронах: Изображение, сформированное в растровом элект
ронном микроскопе с использованием вторичныхэлектронов от объекта.
[ГОСТ 21006—75, статья 33]
3.6
отклоняющая система электронного микроскопа (отклоняющая система): Электронно-опти
ческий элемент электронного микроскопа, предназначенный для отклонения электронного пучка
электрическими или магнитными полями.
[ГОСТ 21006—75, статья 25]
3.7
электронно-оптическое увеличение электронного микроскопа: Отношение линейного раз
мера изображения, полученного непосредственно в электронном микроскопе, к линейному размеру
соответствующегоэлемента объекта.
[ГОСТ 21006—75. статья 50]
3.8 пиксель: Наименьший дискретный элемент изображения, получаемый в результате матема
тической обработки информативного сигнала.
3.9 изображение на экране монитора РЭМ (видеоизображение): Изображениенаэкранемони
тора РЭМ в виде матрицы из п строк по т пикселей в каждой, яркость которых прямо пропорциональна
значению сигнала соответствующейточки матрицы.
П р и м е ч а н и е — Яркость пикселя определяется силой света, излучаемой а направлении глаза наблюда
теля.
3.10 видеопрофиль информативного сигнала (видеопрофиль): Графическая зависимость
значения информативногосигнала, поступающегосдетектора микроскопа, от номера пикселя вданной
строке видеоизображения.
3.11 масштабный коэффициент (видеоизображения РЭМ): Отношение длины исследуемого
элемента рельефа наобъекте измерений к числу пикселейэтого элемента на видеоизображении.
П р и м е ч а н и е — Масштабный коэффициент определяют для каждого РЭМ.
3.12 рельефная мора: Средство измеренийдлины, представляющее собой твердый объект, ли
нейные размеры элементов рельефа которого установлены с необходимой точностью.
П р и м е ч а н и е — Рельефная мера может быть изготовлена с помощью средств микро- и нанотехнологии
или представлять собой специально обработанный объект естественного происхождения.
3.13 рельефная мора нанометрового диапазона: Мера, содержащая элементы рельефа,
линейный размер хотя бы одного из которых менее 10-6м.
3.14 элемент рельефа в форме выступа (выступ): Элемент рельефа, расположенный выше
прилегающих к нему областей.
3.15 геометрическая форма элемента рельефа: Геометрическая фигура, наиболее адекватно
аппроксимирующая форму минимального по площади сечения элемента рельефа.
2