ГОСТ 8.594-2009; Страница 5

или поделиться

Ещё ГОСТы из 41757, используйте поиск в верху страницы

ГОСТ Р 53709-2009 Скважины нефтяные и газовые. Геофизические исследования и работы в скважинах. Общие требования Oil and gas wells. Geophysical researches and works in wells. General requirements (Настоящий стандарт устанавливает виды, объемы, стадии и порядок проведения геофизических исследований и работ в нефтяных и газовых скважинах и требования к ним. Настоящий стандарт предназначен для применения при геологическом изучении, разведке и добыче углеводородного сырья, сооружении и эксплуатации подземных хранилищ газа, а также при проведении аудита запасов углеродного сырья) ГОСТ Р 27.403-2009 Надежность в технике. Планы испытаний для контроля вероятности безотказной работы Dependability in technics. Compliance tests plans for reliability (Настоящий стандарт распространяется на изделия любых видов техники, для которых в документации задают требования к показателю безотказности - вероятности безотказной работы (ВБР). Настоящий стандарт устанавливает планы испытаний для проверки соответствия ВБР заданным требованиям) ГОСТ 8.593-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки State system for ensuring the uniformity of measurements. Atomic-force scanning probe microscopes. Method for verification (Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ 8.591 и ГОСТ 8.592)

Страница 5

Страница 1

Untitled document

ГОСТ 8.594—2009

М Е Ж Г О С У Д А Р С Т В Е Н Н Ы ЙС Т А Н Д А Р Т

Государственная система обеспечения единства измерений

МИКРОСКОПЫ Э

ЕКТРОННЫЕ РАСТРОВЫЕ

Методика поверки

State system for ensuring the uniformity of measurements.

Scanning electron microscopes. Verification methods

Дата введения — 2010—11—01

1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы (далее — РЭМ),

применяемыедля измеренийлинейных размероввдиапазонеот 10 sдо 10-6м. иустанавливаетметоди ку

их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ 8.591 и ГОСТ

8.592.

2 Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие межгосударственные

стандарты.

ГОСТ 8.591—2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф

ные нанометровогодиапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки

ГОСТ 8.592—2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф

ные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим фор

мам, линейным размерам ивыборуматериаладля изготовления

ГОСТ 12.2.061—81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное.

Общиетребования безопасности к рабочим местам

ГОСТ ИСО 14644-1—2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.

Часть 1. Классификация чистоты воздуха

П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч

ных стандартов на территории государства по соответствующему указателю стандартов, составленному по состоя

нию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям,

опубликованным в текущем году. Если ссылочный документ заменен (изменен), то при пользовании настоящим

стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный документ отме

нен без замены,то положение, в котором дана ссылка на него, применяется вчасти, не затрагивающей эту ссылку.

3 Термины и определения

В настоящем стандарте применены следующие термины ссоответствующими определениями.

3.1

растровый электронный микроскоп (РЭМ): Электронный микроскоп, формирующий изобра

жение объекта при сканировании его поверхности электронным зондом.

(ГОСТ 21006—75. статья 3)

Издание официальное