ГОСТ 8.592—2009
Ошюмьй июуп
Шшям отдот» $фр*лшшг)
BmuryiтригицждальнЫ)
Форшл
Рисунок 1 — Типовые элементы рельефа рельефной меры
4.3 Конкретную геометрическую форму элементов рельефа рельефной меры выбирают в соот
ветствиисметодикамиповеркирастровыхэлектронныхмикроскоповпо ГОСТ8.594 изондовыхсканиру
ющих атомно-силовых микроскопов по ГОСТ8.593.
4.4 Линейные размеры элементов рельефа выбираютизследующихдиапазонов значений для:
- ширины линий (верхние основания выступов) — от 5 ■10~9до 8 ■10-7 м;
- высоты элементов рельефа — от 1• 10-7до 8 ■10-7м;
- шага периодически повторяющихся структур — от 1•10~6до 3 • 10 бм.
5 Требования к материалу для изготовления рельефной меры
5.1 Рельефную меру изготавливают из пластин монокристаллического кремния марок ЭКЭФ и
ЭКДБ с удельным электрическим сопротивлением не менее 1Ом ■мпо ГОСТ 19658.
5.2 Рабочая поверхность пластины, на которой формируют элементы рельефа, должна быть
параллельнакристаллографической плоскостис индексами Миллера (100). Ориентацию кристаллогра
фической плоскости определяют по ГОСТ 19658. Допускаемое отклонение от параллельности рабочей
поверхности и кристаллографической плоскости (100) не должно превышать Г.
5.3 Для формирования элементов рельефа на поверхности используют метод жидкостного ани
зотропноготравления раствором щелочи. Геометрическую структурутехнологической защиты, концен
трацию раствора щелочи и продолжительность процесса травления определяют, исходя из размеров
элементов рельефа, установленных в требованиях к средствам поверки растровых электронных мик
роскопов по ГОСТ8.594 исканирующихзондовыхатомно-силовых микроскоповпо ГОСТ 8.593.
Основные этапы технологического процесса изготовления рельефной меры приведены в прило
женииА.
з