ГОСТ 8.592-2009; Страница 4

или поделиться

Ещё ГОСТы из 41757, используйте поиск в верху страницы

ГОСТ Р 8.666-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Влагомеры нейтроннные. Методика поверки State system for ensuring the uniformity of measurements. Moisture meters neutron. The method of verification (Настоящий стандарт распространяется на нейтронные влагомеры по ГОСТ 19611 и ГОСТ 21196 и устанавливает методику их первичной и периодической поверки. Межповерочный интервал 1 год) ГОСТ Р 8.663-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений силы State system for ensuring the uniformity of measurements. State verification schedule for force measuring instruments (Настоящий стандарт распространяется на поверочную схему для средств измерений силы в диапазоне от 10 до 9•106 Н и устанавливает порядок передачи размера единицы силы ньютона (Н) от государственного первичного эталона с помощью рабочих эталонов рабочим средствам измерений с указанием погрешностей и основных методов поверки. Допускается проводить поверку с применением эталонных средств измерений более высокой точности, чем предусмотрено настоящим стандартом. Допускается проводить поверку средств измерений, неуказанных в настоящем стандарте, при условии разработки методик поверки, обеспечивающих доверительную погрешность результатов измерений не более 1/3 от пределов допускаемой погрешности поверяемых средств измерений) ГОСТ Р ИСО 18436-1-2005 Контроль состояния и диагностика машин. Требования к обучению и сертификации персонала. Часть 1. Требования к органам по сертификации и процедурам сертификации Condition monitoring and diagnostics of machines. Requirements for training and certification of personnel. Part 1. Requirements for certifying bodies and the certification process (Настоящий стандарт устанавливает требования к органам по сертификации персонала, занятого в области контроля состояния и диагностики машин, а также процедуры сертификации этого персонала)

Страница 4

Страница 1

Untitled document

ГОСТ 8.592—2009

Введение

Для проведения линейных измерений вдиапазоне от 10-9до 10-6 м используют растровые элек

тронные илисканирующиезондовыеатомно-силовые микроскопы(далее — микроскопы).Для ихповер

ки и калибровки применяют материальные носители единицы длины (далее — меры), размеры

элементов которых определяют, используя стабилизированное по частоте лазерное излучение. Длину

волны лазерного излучения поверяют с помощьюэталонадлины.

На практике в качестве мер применяют рельефные моры нанометрового диапазона (далее —

рельефные меры),представляющиесобой пластинуизмонокристаллическогокремния, на поверхности

которой сформированы элементы рельефа определенной геометрической формы с размерами основ

ных элементов не более 10~6м.

В основе технологическогопроцессасоздания рельефныхмерлежитиспользованиеанизотропно

го травления монокристаллического кремния: скорость травления в направлении одной из кристал

лографических плоскостей в кристаллической структуре кремния в несколько тысяч раз

превышает скоростьтравления в направлениидругой кристаллографической плоскости. Угол

междукристаллогра фическими плоскостями определен кристаллической структурой кремния. В

результате формируются пространственные геометрические фигуры с известным углом наклона

между боковыми стенками и основаниями. Ориентацию рабочей поверхности пластины, на которой

формируются элементы релье фа, определяют рентгеновским дифракционным методом по

методике, установленной в ГОСТ 19658—81 «Кремний монокристаллический в слитках.

Технические условия».

Настоящийстандартустанавливаеттребования кгеометрическим формам илинейным размерам,

а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокрис

таллического кремния. Рельефные меры могут быть изготовлены с трапецеидальным профилем

эле ментов рельефа. Методика их поверки установлена в ГОСТ 8.591—2009. а применение для

целей поверки микроскопов установлено:

- для растровых электронных микроскопов — в ГОСТ 8.594—2009;

- для сканирующих зондовыхатомно-силовых микроскопов — в ГОСТ 8.593—2009.