ГОСТ 8.592—2009
УДК 531.711.7.089:006.354МКС 17.040.01Т88.1
Ключевые слова: длина, рельефные меры нанометрового диапазона, монокристалличесхий кремний,
размеры, формы, материал, растровые электронные микроскопы, зондовые сканирующие атомно-си
ловые микроскопы
6