ГОСТ 8.592—2009
М Е Ж Г О С У Д А Р С Т В Е Н Н Ы ЙС Т А Н Д А Р Т
Государственная система обеспечения единства измерений
МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА
ИЗ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
Требования к геометрическим формам, линейным размерам
и выбору материала для изготовления
State system for ensuring the uniformity of measurements.
Single-crystal silicon nanometer range relief measures.
Geometrical shapes, linear size and manufacturing matenal requirements
Дата введения — 2010—11—01
1 Область применения
Настоящийстандартустанавливаеттребованияк геометрическим формам и линейным размерам,
а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометровогодиапазона из монокрис-
таллического кремния(далее- рельефныемеры) длядиапазоналинейныхизмеренийот10-9до 10-6м.
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения
всех видов поверок растровыхэлектронных микроскопов по ГОСТ 8.594 и сканирующих зондоеых атом
но-силовых микроскопов по ГОСТ 8.593 при проведении метрологического контроля (надзора), а также
на рельефные меры, используемые при калибровке указанныхтипов микроскопов.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие межгосударственные
стандарты:
ГОСТ 8.591—2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф
ные нанометровогодиапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
ГОСТ8.593—2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопыска
нирующие зондовыеатомно-силовые. Методика поверки
ГОСТ 8.594—2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы
электронные растровые. Методика поверки
ГОСТ 19658—81 Кремний монокристаллический вслитках. Технические условия
П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч
ных стандартов на территории государства по соответствующему указателю, составленному по состоянию на
1 января текущего года, и по соответствующим информационным указателям, опубликованным в текущем году.
Если ссылочный документ заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководство
ваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный документ отменен без замены, то положение, в
котором дана ссылка на него, применяется в части, ив затрагивающей эту ссылку.
3 Термины и определения
В настоящем стандарте применены термины по РМГ29[1]. а также следующиетермины ссоответ
ствующими определениями.
3.1 рельеф поверхности (твердого тела): Поверхность твердого тела, отклонения которой от
идеальной плоскости обусловлены естественными причинами или специальной обработкой.
Издание официальное
1