ГОСТ 8.592—2009
3.2 элемент рельефа (поверхности): Пространственно локализованная часть рельефа
поверхности.
3.3 одиночный элемент рельефа (поверхности): Элемент рельефа, место расположения
которогона поверхностиисключаетвлияниедругих элементовнарезультатизмеренияпараметровдан
ного элемента.
3.4 элемент рельефа в форме выступа (выступ): Элемент рельефа, расположенный выше
прилегающих к нему областей.
3.5 элемент рельефа в форме канавки (канавка): Элемент рельефа, расположенный между
двумя выступами.
3.6 элемент рельефа в форме ступеньки (ступенька): Элемент рельефа, образованный дву
мя параллельными полуплоскостями и плоской стенкой, соединяющей параллельные границы этих
полуплоскостей.
3.7 элемент рельефа в форме линии (линия): Элемент рельефа, линейная длина которого в
направлении, перпендикулярном к плоскости минимального по площади сечения, значительно превы
шает остальныелинейные размеры.
П р и м е ч а н и е — Линия может представлять собой как выступ, так и канавку.
3.8 геометрическая форма элемента рельефа: Геометрическая фигура, наиболее адекватно
аппроксимирующая форму минимального по площади сечения элемента рельефа.
Пример — Трапецеидальный выступ, представляющ ий собой элемент рельефа поверхности, гео
метрическая форма минимального по площади сечения которого наиболее адекватно аппроксимирует ся
трапецией.
3.9 мера (физической) величины: Средство измерений, предназначенное для воспроизведе
ния и (или) хранения физической величины одного или нескольких заданных размеров, значения кото
рых выражены в установленныхединицах иизвестны с необходимой точностью [1].
3.10 рельефная мера: Средство измерений длины, представляющее собой твердый объект,
линейные размеры элементов рельефа которогоустановлены с необходимой точностью.
П р и м е ч а н и е — Рельефная мера может быть изготовлена с помощью средств микро- и нанотехнологии
или представляет собой специально обработанный объект естественного происхождения.
3.11 рельефная мера нанометрового диапазона: Мера, содержащая элементы рельефа,
линейный размерхотя бы одного из которыхменее 10 е м.
3.12 шаговая структура (рельефа поверхности): Совокупность повторяющихся в определен
ном направлении элементов рельефаодинаковой геометрической формы.
П р и м е ч а н и е — Обычно число повторяющихся элементов в шаговых структурах более 5.
3.13 ширина эломента рельефа поверхности: Величина отрезка, характеризующая длину
верхнего (нижнего) основания геометрического профиля элемента рельефа поверхности.
4 Геометрические формы илинейные размеры элементов рельефа
4.1 На рабочей поверхности пластины область, занятая рельефной мерой, представляет собой
квадратсо стороной неболее 10 мм.
4.2 Рельеф поверхности рельефной меры представляетсобой совокупность одиночных элемен
тов рельефа (выступов, линий, ступенек) и одной или нескольких шаговых структур, вспомогательных
линий имаркерных знаков.
Площадь поверхности, занимаемая указанной совокупностью элементов рельефа. — не более
1мм2.
Схематические изображения наиболее часто используемых элементов рельефа поверхности
рельефной меры приведены на рисунке 1.
2