ГОСТ 8.593—2009
Рисунок 2 — Видеопрофиль (направление сканирования слева — направо)
Наклон зонда должен быть но болое 20°. При соблюдении дополнительного условия ортогональ
ности вертикального перемещения зонда, регистрируемая кривая будет симметричной иAL =Ав.
П р и м е ч а н и е — Если значения AL и ARне равны, то это указывает на неортогональность вертикального
перемещения зонда и необходимость определения значения отклонения Z-сканера поверяемого микроскопа по 9.4.
8.4 Оформление протокола поверки
Результаты измерений параметров рельефной меры, приведенных на рисунке 2. оформляют в
виде протокола. В протокол также записываютзначениеобщейдлины видеопрофиля, определенное по
8.2.5. Форма протокола — произвольная.
Протокол с результатами измерений должен храниться как минимум до следующей поверки мик
роскопа.
9 Обработка результатов измерений
9.1 Вычисление масштабного коэффициента видеоизображения микроскопа
Масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа тл, нм/пиксель, вдоль направления
сканирования вычисляют поформуле
т.
(
2
)
гдеа — значениепроекциинаклоннойстенки выступа, приведенное впаспорте(формуляре) нарельеф
ную меру, нм;
A
r
— значениепроекциинаклоннойстенкирельефноймеры, измеренное повидеопрофилю, пиксель.
П р и м е ч а н и е — При вычислении масштабного коэффициента видеоизображения используют значение
проекции наклонной стенки AR, соответствующее движению сканера от вершины выступа к дну канавки. Это значе ние
при выполнении условия по 8.3.2 не зависит от угла наклона зонда микроскопа.
9.2 Вычисление эффективного радиуса острия зонда микроскопа
Эффективный радиус острия зонда микроскопа г. нм. вычисляют поформуле
г-0.966(т, Вр- Ьр),(3)
гдет , — масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, вычисленный по9.1. нм/пиксель;
б0 — ширина нижнегооснования, измеренная по видеопрофилю, пиксель:
— ширина нижнего основания выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную
меру. нм.
9.3 Вычисление цены деления вертикальной шкалы микроскопа
Цену деления вертикальной шкалы микроскопа тг,нм/пиксель. вычисляют поформуле
гдеh — высота выступа, приведенная в паспорте (формуляре)на рельефную меру, нм;
Н — высота выступа рельефной меры, измеренная повидеопрофилю, пиксель.
5