ГОСТ 8.593—2009
М Е Ж Г О С У Д А Р С Т В Е Н Н Ы ЙС Т А Н Д А Р Т
Государственная система обеспечения единства измерений
МИКРОСКОПЫ СКАНИРУЮЩИЕ ЗОНДОВЫЕ АТОМНО-СИЛОВЫЕ
Методика поверки
State system for ensuring the uniformity of measurements. Atomic-force scanning probe microscopes.
Verification method
Дата введения — 2010—11—01
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы
(далее — микроскопы), применяемыедля измеренийлинейных размеров вдиапазоне от 10 9до 10-6м, и
устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по
ГОСТ8.591 иГОСТ 8.592.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие межгосударственные
стандарты:
ГОСТ 8.591—2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф
ные нанометровогодиапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
ГОСТ 8.592—2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф
ные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим фор
мам, линейным размерам и выбору материаладля изготовления
ГОСТ 12.2.061—81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное.
Общие требования безопасности к рабочим местам
ГОСТ ИСО 14644-1—2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 1. Классификациячистоты воздуха
П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч
ных стандартов на территории государства по соответствующему указателю стандартов, составленному по состоя
нию на 1 января текущего года, и по соответствующим информационным указателям, опубликованным в текущем
году. Если ссылочный документ заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руково
дствоваться замененным (измененным) стандартом. Если ссылочный документ отменен без замены, то положе
ние. в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
3 Термины и определения
В настоящем стандарте применены следующиетермины ссоответствующими определениями.
3.1 рельеф поверхности (твердого тела): Поверхность твердого тела, отклонения которой от
идеальной плоскости обусловлены естественными причинами или специальной обработкой.
3.2 элемент рельефа (поверхности): Пространственно локализованная часть рельефа
поверхности.
3.3 сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп: Зондовый атомно-силовой микрос
коп с нормированными метрологическими характеристиками, предназначенный для измерения линей
ных размеров элементов рельефа поверхности и/или расстояний между ними путем сканирования
поверхности острием зонда.
Издание официальное
1