ГОСТ 8.593—2009
9.4 Вычисление относительного отклонения Z-сканера микроскопа отортогональности
Если значениеALне равно4„ впределахзаданнойточности измерений, тоотносительноеотклоне
ние Z-сканера микроскопа от ортогональности по отношению к направлению сканирования Z, (безраз
мерная величина) вычисляютпоформуле
7 _
т
»(A. -
А
„)
2Нт,
где тл— масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, вычисленный по 9.1. нм/пиксель;
Al A
r
— проекции наклонныхстенокрельефной меры в направлении слева направо, пиксели;
Н — высота выступа рельефной меры, измеренная по видеопрофилю, пиксель;
тг — ценаделения вертикальной шкалы микроскопа, вычисленная по 9.3, нм/пиксель.
9.5 Погрешности измерений
Погрешности измерений метрологических характеристик микроскопа, вычисленных по форму
лам (2) — (5). составляют:
- для ш .и т, — абсолютные погрешности измерений — не более ± 0.02 нм/пиксель;
- для z, и г— относительные погрешности измерений — не более i 6 %.
10 Оформление результатов поверки
10.1 Результаты поверки оформляют в виде свидетельства установленной формы, внесением
соответствующей записи в паспорт (формуляр) микроскопа и удостоверяют оттиском поверительного
клейма, наносимого на микроскоп.
10.2 На оборотной стороне свидетельства о поверке и в паспорте (формуляре) микроскопадолж
ны быть приведены:
- значение общейдлины видеопрофиля, определенное по8.2.5;
- значения масштабного коэффициента видеоизображения микроскопа т,. цены деления верти
кальной шкалы микроскопа ту значения относительного отклонения Z-сканера микроскопа от ортого
нальности по отношению к направлению сканирования Zt и значение эффективного радиуса острия
зондаг.
Для перечисленных метрологических характеристикмикроскопа необходимотакже указать значе
ния погрешностей измерений, приведенные в подразделе 9.5 настоящего стандарта.
6