ГОСТ 8.593—2009
3.4 пиксель: Наименьшийдискретныйэлементизображения, получаемый врезультатематема
тической обработки информативного сигнала.
3.5 сканирование (элемента исследуемого объекта): Перемещение зонда микроскопа над
выбранным элементом рельефа поверхности исследуемого объекта (или перемещение исследуемого
объекта подзондом)с одновременной регистрацией информативногосигнала.
3.6 изображение на экране монитора микроскопа (видеоизображение): Изображение на
экране монитора микроскопа в виде матрицы из лстрок пот пикселей в каждой, яркость которых прямо
пропорциональна значению сигнала соответствующей точки матрицы.
П р и м е ч а н и е — Яркость пикселя определяется силой света, излучаемой в направлении глаза наблюда
теля.
3.7 видеопрофиль информативного сигнала (видеопрофиль): Графическая зависимость
значения информативногосигнала, поступающегосдетектора микроскопа, от номера пикселя вданной
строке видеоизображения.
3.8 масштабный коэффициент (видеоизображения микроскопа): Отношение длины иссле
дуемого элемента рельефа на объекте измерений к числу пикселей этого элемента на видеоизображе
нии.
П р и м е ч а н и е — Масштабный коэффициент определяют для каждого микроскопа.
3.9 эффективный радиус (острия) зонда (микроскопа): Радиуссферы, характеризующей гео
метрические размеры острия зонда микроскопа.
П р и м е ч а н и е — Эффективный радиус зонда микроскопа определяют по значению радиуса сферы, впи
санной в острие зонда при одновременном касании острия боковой грани выступа и дна канавки рельефной меры по
ГОСТ 8.591.
3.10 Z-сканер сканирующего зондового атомно-силового микроскопа (Z-сканер): Устрой
ство сканирующего зондового атомно-силового микроскопа, позволяющее в процессе сканирования
перемещать зонд над поверхностью исследуемого объекта (или перемещать исследуемый объект под
зондом) в вертикальном направлении.
3.11 рельефная мера нанометрового диапазона: Мера, содержащая элементы рельефа,
линейный размер хотя бы одного из которых менее 10 6 м.
3.12 элемент рельефа в форме выступа (выступ): Элемент рельефа, расположенной выше
прилегающих к нему областей.
3.13 геометрическая форма элемента рельефа: Геометрическая фигура, наиболее адекватно
аппроксимирующая форму минимального по площади сечения элемента рельефа.
Пример— Трапецеидальный выст уп, предст авляющ ий собой элемент рельефа поверхности,
геометрическая форма минимального по площ ади сечения которого наиболее адекватно аппроксими
руется трапецией.
4 Операции исредства поверки
4.1При проведении первичной и периодических поверок микроскопа должны быть выполнены
операции и применены средства поверки, указанные втаблице 1.
Т а б л и ц а 1 — Операции и применяемые средства поверки
Наименование операции
Номер подраздела
настоящего стандарта
Наименование сродства поверхи и его основные технические и
метрологические характеристики
Внешний осмотр
8.1
-
Опробование
8.2
Вспомогатепьный оптический микроскоп (увеличение —
не менее 400х) \
Рельефная мера, изготовленная по ГОСТ 8.592 и пове
ренная по ГОСТ 8.591.
Определение метро8.3Рельефная мера, изготовленная по ГОСТ 8.592 и пове
логических характеристик ренная по ГОСТ 8.591
* Допускается при проведении операции «Опробование» не использовать оптический микроскоп.
2