ГОСТ 8.593—2009
- проводятосмотрфутляра, вкоторомосуществлялосьхранение итранспортированиерельефной
меры, на отсутствие механических повреждений;
- проводят проверку соответствия комплекта поставки рельефной меры данным, приведенным в
паспорте (формуляре) на рельефную меру;
- выдерживают выбранный экземпляр рельефной меры в помещении, где будет проведена повер
ка микроскопа, не менее 24 ч;
- извлекаютрельефную меру из футляра иосматривают еедля выявления внешних повреждений
(царапин, сколов идругих дефектов) и загрязнений. При необходимости поверхность меры очищают от
частиц пыли струей очищенного сухого воздуха.
7.4Выполняют операции, необходимые для подготовки микроскопа к работе, в соответствии с
требованиями инструкции поего эксплуатации.
8 Проведение поверки
8.1 Внешний осмотр
При внешнем осмотре микроскопадолжно бытьустановлено.
- соответствие комплекта поставки микроскопа данным, приведенным в паспорте (формуляре);
- отсутствие механических повреждений всехсоставных частей микроскопа;
- отсутствие механическихповреждений соединительных кабелей исетевыхразъемов.
- наличие маркировки намикроскопе и ее соответствиеданным, приведенным в паспорте (форму
ляре).
8.2 Опробование
8.2.1 Рельефную меру устанавливают на рабочий стол микроскопа, подлежащего поверке.
8.2.2 Зондмикроскопа устанавливают над поверхностью рельефной меры так. чтобы выступ, ука
занный в паспорте (формуляре) на эту меру в качестве исследуемого элемента, находился в пределах
областисканирования.
При выполненииоперациирекомендуетсяиспользоватьвспомогательныйоптическиймикроскоп.
8.2.3 В соответствии с инструкцией по эксплуатации микроскопа проводят операции, необходи
мыедля приведенияего в рабочее состояние (на мониторе микроскопадолжен появиться информатив
ный сигнал).
8.2.4 Настраивают устройство регистрации видеоизображения таким образом, чтобы число пик
селей в направлении сканирования было достаточным для того, чтобы можно было пренебречь значе
нием неопределенности, обусловленным квантованием видеосигнала. Это достигается выбором
соответствующих размеров видеоизображения в пикселяхи выбором соответствующей настройки уве
личения микроскопа. Выбор увеличения осуществляют таким образом, чтобы видеопрофильэлемента,
изображенного на рисунке 1, имел вид, приведенный на рисунке 2. При этом:
- ширина нижнегооснования видеопрофиля Врдолжна быть не менее 0.4 общей длины видеопро
филя;
- проекциянаклоннойстенкивидеопрофиляARи высотавыступаповидеопрофилю Ндолжны быть
не менее 200 пикселей.
8.2.5 После завершенияоперации настройкиустройства регистрациивидеоизображенияопреде
ляют значение в пикселях общей длины видеопрофиля в направлении сканирования. Это значение
общейдлины указывают в протоколе поверки.
8.3Определение метрологических характеристик
8.3.1 Всоответствии с инструкцией поэксплуатации микроскопа выполняютсканирование иссле
дуемого элемента рельефной меры и записывают видеоизображение.
Видеопрофиль, приведенный на рисунке 2. соответствует элементу рельефа, изображенному на
рисунке 1.
Значения параметров, указанных на рисунке 2. определяют экспериментально путем обработки
полученного видеопрофиля.
8.3.2 При сканировании исследуемогоэлемента рельефной меры необходимо, чтобы наклонзон
да микроскопа (если имеется) был расположен в плоскости, перпендикулярной к направлению переме
щения зонда.
4