5
взвешенных в воздухе частиц, равных или больших чем данный размер частиц. Сn округляется до ближайшего целого числа, при этом используется не более трех значащих цифр;
N - классификационное число ИСО, которое не должно превышать значения 9. Промежуточные числа классификации ИСО могут быть определены с наименьшим допустимым приращением N, равным 0,1;
D - рассматриваемый размер частиц, мкм;
0,1 -константа, мкм.
В таблице 1 показаны классы чистоты по взвешенным в воздухе частицам и соответствующие концентрации частиц размерами, равными и большими указанных размеров. На рисунке А.1 принятие класса чистоты показано в графическом виде. В случае разногласий концентрация Сn, определяемая из уравнения (1), должна служить в качестве стандартного значения.
Таблица 1 - Классы чистоты по взвешенным в воздухе частицам для чистых помещений и чистых зон
Класс ИСО (Классификационное число N) | Пределы максимальных концентраций (частицы/м3 воздуха) частиц размером, равным и большим приведенного ниже (уравнение 1 в 3.2), мкм |
0,1 | 0,2 | 0,3 | 0,5 | 1,0 | 5,0 |
Класс 1 ИСО | 10 | 2 |
|
|
|
|
Класс 2 ИСО | 100 | 24 | 10 | 4 |
|
|
Класс 3 ИСО | 1 000 | 237 | 102 | 35 | 8 |
|
Класс 4 ИСО | 10 000 | 2 370 | 1 020 | 352 | 83 |
|
Класс 5 ИСО | 100 000 | 23 700 | 10 200 | 3 520 | 832 | 29 |
Класс 6 ИСО | 1 000 000 | 237 000 | 102 000 | 35 200 | 8 320 | 293 |
Класс 7 ИСО |
|
|
| 352 000 | 83 200 | 2 930 |
Класс 8 ИСО |
|
|
| 3 520 000 | 832 000 | 29 300 |
Класс 9 ИСО |
|
|
| 35 200 000 | 8 320 000 | 293 000 |
Примечание - Из-за неопределенности, связанной с процессом измерения, при классификации следует использовать данные по концентрации, имеющие не более трех значащих цифр. |
3.3 Обозначение класса чистоты
Обозначение класса чистоты по взвешенным в воздухе частицам для чистых помещений и чистых зон включает:
a) классификационное число, выраженное как «класс N ИСО»;
b) состояние чистого помещения, для которого применяется классификация;
c) рассматриваемый размер(ы) частиц и соответствующая концентрация(и), определенные по уравнению классификации (1), где каждый данный пороговый размер частиц находится в пределах 0,1-5,0 мкм.
Пример обозначения:
Класс 4 ИСО; эксплуатируемое состояние; рассматриваемые размеры:
0,2 мкм (2370 частиц/м3), 1 мкм (83 частицы/м3).
Рассматриваемый размер(ы) частиц, для которого следует определить концентрацию(и), должен быть согласован между Заказчиком и Исполнителем.
Если оценка должна быть сделана для более чем одного размера частиц, то каждый больший диаметр частицы (например, D2) должен быть, по крайней мере, в 1,5 раза больше ближайшего меньшего диаметра частицы (например, D1).
Например: D2>1,5D1.
4 Проверка соответствия
4.1 Принцип проверки
Соответствие установленным Заказчиком требованиям к чистоте воздуха (классу ИСО) проверяется при испытаниях по определенным методикам с оформлением документации по результатам и условиям испытаний в соответствии с соглашением