4
мкм.
2.2.7 волокно (fibre): Частица вытянутой формы, длина которой превышает ширину в 10 или более раз.
2.3 Дескрипторы (Descriptors)
2.3.1 U-дескриптор (U-descriptor): Определенная или заданная концентрация частиц в 1 м3 воздуха, включая ультрамелкие частицы.
Примечание - U-дескриптор может рассматриваться как верхний предел для средних значений в точках отбора проб (или как верхний доверительный предел, зависящий от числа точек отбора проб, которым характеризуют чистое помещение или чистую зону). U-дескрилторы не могут использоваться для определения классов чистоты по взвешенным в воздухе частицам, но они могут указываться независимо или совместно с классами чистоты по взвешенным в воздухе частицам.
2.3.2 М-дескриптор (M-descriptor): Определенная или заданная концентрация макрочастиц в 1 м3 воздуха, выраженная через эквивалентный диаметр, который характеризует используемый метод измерения.
Примечание - М-дескриптор может рассматриваться как верхний предел средних значений в точках отбора проб (или как верхний доверительный предел, зависящий от числа точек отбора проб, которым характеризуют чистое помещение или чистую зону). М-дескрипторы не могут использоваться для определения классов чистоты по взвешенным в воздухе частицам, но они могут указываться независимо или совместно с классами чистоты по взвешенным в воздухе частицам.
2.4 Состояния чистого помещения (Occupancy states)
2.4.1 построенное (as-built): Состояние, в котором система чистых помещений завершена, все обслуживающие системы подключены, но отсутствует производственное оборудование, материалы и персонал.
2.4.2 оснащенное (at-rest): Состояние, в котором система чистых помещений укомплектована оборудованием и отлажена в соответствии с соглашением между Заказчиком и Исполнителем, но персонал отсутствует.
2.4.3 эксплуатируемое (operational): Состояние, в котором система чистых помещений функционирует установленным образом, с установленной численностью персонала, работающего в соответствии с документацией.
2.5 Стороны (Roles)
2.5.1 Заказчик (customer): Организация или ее представитель, ответственный за точное определение требований к чистому помещению или чистой зоне.
2.5.2 Исполнитель (supplier): Организация, выполняющая установленные требования к чистому помещению или чистой зоне.
3 Классы чистоты
3.1 Состояния чистого помещения
Чистота воздуха по частицам в чистом помещении или чистой зоне должна быть определена по одному (или более) из трех состояний чистых помещений - построенному, оснащенному или эксплуатируемому (см. 2.4).
Примечание - Следует иметь в виду, что состояние «построенное» может применяться к недавно построенным или недавно реконструированным чистым помещениям или чистым зонам. После испытания в состоянии «построенное» дальнейшие испытания должны выполняться по согласованию в состояниях «оснащенное» или «эксплуатируемое», или в обоих.
3.2 Классификационное число
Чистота по взвешенным в воздухе частицам обозначается классификационным числом N. Максимально допустимая концентрация частиц Сn для каждого данного размера частиц D определяется из уравнения
где Сn - максимально допустимая концентрация (число частиц в кубометре воздуха)