15
размеры которых не находятся внутри диапазона размеров, применяемого при классификации. Максимально допустимая концентрация таких частиц и выбор метода испытаний, которым проверяется соответствие требованиям, являются предметом соглашения между Заказчиком и Исполнителем. Особенности метода испытаний и обозначения даны в Е.2 (для U-дескрипторов) и Е.3 (для М-дескрипторов).
Е.2 Частицы размером менее 0,1 мкм (ультрамелкие частицы) - U-дескриптор
Е.2.1 Применение
Если необходимо оценить риск загрязнения, связанный с частицами размером менее 0,1 мкм, то должны быть использованы пробоотборники и процедуры измерения, учитывающие особенности характеристик таких частиц.
Число точек пробоотбора должно быть установлено в соответствии с В.4.1 и минимальный объем пробы VS, должен составлять 2 л (В.4.2.2).
Е.2.2 Обозначение U-дескриптора
U-дескриптор может использоваться самостоятельно или как дополнение к классу чистоты. U-дескриптор обозначается как
U (x; y),
где х - максимально допустимая концентрация ультрамелких частиц (выраженная в числе ультрамелких частиц в 1 м воздуха);
у - размер в микрометрах, при котором используемый счетчик дискретных частиц считает частицы с 50 %-ной эффективностью.
ПРИМЕР. Чтобы выразить максимально допустимую концентрацию ультрамелких частиц 140 000 частиц/м3 в диапазоне размеров частиц ?0,01 мкм, следует использовать обозначение: U(140 000; 0,01 мкм).
Примечания
1 Соответствующие методы измерения концентрации взвешенных в воздухе частиц размером менее чем 0,1 мкм даны в IEST-G-CC1002 [1].
2 Если U-дескриптор используется как дополнение к классу чистоты по взвешенным в воздухе частицам, то концентрация ультрамелких частиц (х) должна быть не менее предела концентрации (частиц в 1 м3), применяемого для данного размера 0,1 мкм для заданного класса ИСО.
Е.3 Частицы размером более 5 мкм (макрочастицы) - М-дескриптор
Е.3.1 Применение
Если необходимо оценить риск загрязнения, связанный с частицами размером более 5 мкм, то должны быть использованы пробоотборники и процедуры измерения, учитывающие особенности характеристик таких частиц.
Поскольку выделение частиц в производственной среде обычно определяется наличием макрочастиц в системе взвешенных в воздухе частиц, то выбор пробоотборника и метод измерений должны учитывать особенности использования чистых помещений. Следует учесть такие факторы, как плотность, форма, объем и аэродинамическое поведение частиц. Следует обратить особое внимание на такие специфические компоненты взвешенных в воздухе частиц, как волокна.
Е.3.2 Обозначение М-дескриптора
М-дескриптор может использоваться самостоятельно или как дополнение к классам ИСО чистоты по взвешенным в воздухе частицам. М-дескриптор обозначается как
М(a, b); с,
где а - максимально допустимая концентрация макрочастиц (выраженная в числе макрочастиц в 1 м воздуха);
b - эквивалентный диаметр (диаметры), связанный с точно установленным методом измерения макрочастиц (выраженный в микрометрах);
с - специфицированный метод измерения.
Примечания
1 Если в отобранной пробе взвешенных частиц содержатся волокна, то они могут быть учтены