7
Класс 4 ИСО
|
10000
|
2370
|
1020
|
352
|
83
|
-
|
Класс 5 ИСО
|
100000
|
23700
|
10200
|
3520
|
832
|
29
|
Класс 6 ИСО
|
1000000
|
237000
|
102000
|
35200
|
8320
|
293
|
Класс 7 ИСО
|
-
|
-
|
-
|
352000
|
83200
|
2930
|
Класс 8 ИСО
|
-
|
-
|
-
|
3520000
|
832000
|
29300
|
Класс 9 ИСО
|
-
|
-
|
-
|
35200000
|
8320000
|
293000
|
Примечание - Из-за неопределенности, связанной с процессом счета частиц, при классификации следует использовать значения концентрации, имеющие не более трех значащих цифр.
|
3.3 Обозначение класса чистоты
Обозначение класса чистоты по взвешенным в воздухе частицам для чистых помещений и чистых зон включает:
a) классификационное число, выраженное как "Класс ИСО";
b) состояние чистого помещения;
c) заданные размеры частиц и соответствующие концентрации, определенные по уравнению (1), где каждый заданный пороговый размер частиц находится в пределах 0,1-5,0 мкм.
Пример обозначения:
Класс 4 ИСО; эксплуатируемое состояние; заданные размеры частиц:
0,2 мкм (2370 частиц/м); 1,0 мкм (83 частицы/м).
Размеры частиц, для которых следует определить концентрацию, должны быть согласованы заказчиком и исполнителем.
Если оценка должна быть сделана для более чем одного размера частиц, то каждый больший диаметр частицы (например, ) должен быть, по крайней мере, в 1,5 раза больше ближайшего меньшего диаметра частицы (например, ).
Например: .
4 Проверка соответствия
4.1 Принцип проверки
Соответствие чистоты воздуха заданным требованиям (классу ИСО) проверяется по программе испытаний, согласованной заказчиком и исполнителем, с последующим оформлением результатов.
4.2 Испытания
Методика определения классов чистоты дана в приложении В. Можно использовать альтернативный метод, который имеет сопоставимую точность.