6
3 Классы чистоты
3.1 Состояния чистого помещения
При определении класса чистоты указывается состояние чистых помещений - "построенное", "оснащенное" или "эксплуатируемое" (2.4).
Примечание - Следует иметь в виду, что состояние "построенное" может применяться к новым или недавно реконструированным чистым помещениям или чистым зонам. После испытаний в состоянии "построенное" дальнейшие испытания выполняются по согласованию с заказчиком в состояниях "оснащенное", "эксплуатируемое" или в обоих состояниях.
3.2 Классификационное число
Чистота помещения по взвешенным в воздухе частицам обозначается классификационным числом . Максимально допустимая концентрация частиц , частиц/м, с размерами, равными или большими заданного размера , для данного класса чистоты определяется по формуле
, (1)
где - классификационное число ИСО, которое не должно превышать значения 9. Промежуточные числа классификации ИСО могут быть определены с наименьшим допустимым приращением , равным 0,1;
0,1 - константа, мкм;
- заданный размер частиц, мкм.
округляется до целого числа, при этом используется не более трех значащих цифр.
В таблице 1 приведены классы чистоты и соответствующие концентрации частиц с размерами, равными или большими заданных размеров. Графическое представление классов чистоты приведено в приложении А (рисунок А.1). Точное значение величины определяется по формуле (1).
Таблица 1 - Классы чистоты по взвешенным в воздухе частицам для чистых помещений и чистых зон
Класс ИСО
( - классификационное число)
|
Максимально допустимые концентрации частиц, частиц/м, с размерами, равными или большими следующих значений, мкм
|
|
0,1
|
0,2
|
0,3
|
0,5
|
1,0
|
5,0
|
Класс 1 ИСО
|
10
|
2
|
-
|
-
|
-
|
-
|
Класс 2 ИСО
|
100
|
24
|
10
|
4
|
-
|
-
|
Класс 3 ИСО
|
1000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
-
|
Класс 4 ИСО
|
10000
|
2370
|
1020
|
352
|
83
|
-
|