19
частиц/м.
D.2.7 Концентрации частиц во всех пробах меньше максимально допустимых значений для данного класса (D.2.2). В то же время по результатам расчетов 95%-ного верхнего доверительного предела чистота воздуха не удовлетворяет заданным требованиям.
Этот пример показывает влияние одного "выброса", т.е. слишком низкой концентрации частиц в точке 5, на результат проверки по критерию 95 %-ного верхнего доверительного предела.
Поскольку вывод о несоответствии чистоты воздуха заданным требованиям основан на невыполнении критерия по 95 %-ному ВДП и является следствием единственного значения низкой концентрации частиц, то, следуя процедуре, приведенной в В.6.2, можно определить, есть ли основание пренебречь этим несоответствием.
ПРИЛОЖЕНИЕ Е
(справочное)
Особенности счета и оценки размеров частиц, находящихся вне диапазона размеров, используемого для классификации
Е.1 Область применения
В некоторых случаях, обычно связанных со специфическими требованиями процесса, могут быть заданы другие уровни чистоты воздуха для множества частиц, размеры которых находятся вне диапазона размеров, применяемого при классификации. Максимально допустимая концентрация таких частиц и выбор метода испытаний, которым проверяется соответствие требованиям, являются предметом соглашения между заказчиком и исполнителем. Особенности метода испытаний и обозначения даны в Е.2 (для -дескрипторов) и Е.3 (для -дескрипторов).
Е.2 Частицы размером менее 0,1 мкм (ультрамелкие частицы) - -дескриптор
Е.2.1 Требования к отбору проб
Если необходимо оценить риск загрязнения, связанный с частицами размером менее 0,1 мкм, то должны быть использованы пробоотборники и процедуры измерения, учитывающие особенности характеристик таких частиц.
Число точек отбора проб должно быть установлено в соответствии с В.4.1, и минимальный объем пробы должен составлять не менее 2 л (В.4.2.2).
Е.2.2 Обозначение -дескриптора
-дескриптор может использоваться самостоятельно или как дополнение к классу чистоты, -дескриптор обозначается как
,
где - максимально допустимая концентрация ультрамелких частиц (число ультрамелких частиц в 1 м воздуха);
- размер частицы, мкм, для которого используемый счетчик считает частицы с 50%-ной