ГОСТ IEC 60519-7—2016
9 Защита от электрического удара
Источники напряжений электронно-лучевых пушек должны быть выключены блокировками
обеспечения безопасности, если:
- камера электронно-лучевой пушкиоткрыта, а части под напряжением становятсядоступными;
- высоковольтные кабели отсоединены или смонтированы неправильно, и
- высоковольтные ограждения источника электропитания открыты.
В этих случаях система блокировки должна выключать источник напряжений, разряжать высоко
вольтные конденсаторы ипредотвращать перенастройку надежнымисредствами.
В дополнение, часто используемые отверстия должны быть сблокированными до тех пор. пока
может возникать напряжениена закрытых частях.
П р и м е ч а н и е — Если 8 установке одна или больше пушек, то может быть риск, что разные наборы кабе
лей будут подсоединены к источнику высоковольтного электропитания и связанной электронно-лучевой пушке.
Неподключенные концы этих кабелей могли бы оказаться под напряжением в этом случае. Тот же самый риск
существует, если запасные кабели присутствуют в установке.
10 Защита от перегрузки по току и напряжению
10.1 Общие требования
В соответствии с IEC 60519-1 меры предосторожности должны быть обеспечены в согласии с
местнымистандартами, например. IEC 60364-4-43 и IEC 60204-1.
10.2 Высоковольтный источник питания
Высоковольтный источник питания должен быть предоставлен с защитой против перегрузки по
току и напряжению, которая регулируется установками системы.
Чрезмерное напряжение сети недолжно влиять на высоковольтный источник питания.
11 Эквипотенциальное соединение перемычкой
Применяют раздел 11 в1ЕС 60519-1.
Чтобы защитить оператора от напряжений между доступными металлическими частями, эквипо
тенциальная короткая перемычка соединяет все токопроводящие корпуса, рамы и ограждения друг с
другом. Соединение между вакуумной камерой, электронно-лучевой пушкой и ограждением конструк
ции является особенно важным, норабочие платформы, трубопроводы для технологической жидкости,
гидравлики и газа, а также конструкции здания должны быть также включены в эквипотенциальное
соединение перемычками. Таким образом, всеэти частисвязаны сэлектрическим потенциалом земли.
Площадь поперечного сечения этих перемычек должна быть величиной, которая соответствует
току пушки, но не менее 6 мм2для медного проводника.
Эквипотенциальное соединение перемычкойдолжно бытьспособным нести ток пучка электронов
от среды окружения нагретой обрабатываемой детали и электронно-лучевой пушки до места подсое
динения обратного провода безперепада напряжения, превышающего 1.5 В.
12 Схемы управления и функции контроля
12.1 Схемы управления
Схемы управления должны соответствовать разделу 9 IEC 60204-1:2005 и разделу 12
IEC 60519-1:2003.
12.2 Функции контроля
Чтобы избежатьдеструкцииэлектронногопучка, егоактивациядолжнабытьвозможной, еслитол fa-
ко выполняются следующиеусловия:
- рабочее давлениедостигнуто внутри вакуумной камеры;
- система отклоненияэлектронного пучка функционируетбез какого-либо сбоя:
- на систему загибания электронного пучка подается напряжение (если необходимо);
- охлаждающая жидкостьпротекает в заданном объеме;
- клапан пушки открыт (если он существует).
5