ГОСТ IEC 60519-7—2016
13 Жидкостное охлаждение
В случае, когда жидкостное охлаждение применяется (например, в тиглях), то подходящие
устройства текущего контролядолжны бытьобеспечены в соответствии с6.6 IEC 60519-1:2003.
Чистота охлаждающей жидкости требуется для недопущения возникновения затора в трубопро
воде охлаждающей жидкости внутри электронно-лучевой пушки и отклоняющей системы.
Требованиядля качества охлаждающейжидкостидолжны бытьданы изготовителем.
Направление потока охлаждающейжидкостидолжно быть показано.
14 Риски, вызванные определенными процессами и компонентами
14.1 Риск возгорания
Некоторые материалы технологического процесса могут постепенно накапливаться на стенке
камеры или защитныхэкранахв пористыхструктурах. Высокиетемпературы технологическогопроцесса
могут воспламенять эти слои во время вентилирования технологического процесса. В оборудовании,
которое обрабатывает материал, например, титан, следует предусмотреть возможность быстрой
повторной эвакуации оператора, пока камера вентилируется воздухом.
В установкахс электронными пушками высокой мощности часто используются трансформаторы с
масляной изоляцией вблизи рабочей камеры. Монтаж трансформаторов должен соответствовать
правилам страны, в которой надо устанавливать это оборудование. Изготовительэлектронно-лучевой
пушки должен информировать пользователя об объеме и качествах трансформаторного масла.
Огневаянагрузкамасладолжнабыть рассмотрена при планированиипредотвращения пожарадля цеха
завода.
14.2 Опасность взрыва
Разные материалы, загружаемые в рабочую камеру и выгружаемые из нее. могут быть причиной
взрыва, особенно в случае утечки воды охлаждения. Поскольку невозможно исключить любую возмож
ностьвзрыва, то исключение разрыва камеры должно бытьобеспечено самой конструкцией механизма
блокировкидвери или с помощью сопоставимых средств.
14.3 Загрязнение окружающей среды
Материалы технологического процесса и масло высоковольтного трансформатора могут состав
лять существенные риски для загрязнения окружающей среды.
Если высоковольтный трансформатор заполняется маслом, то этот трансформатор должен быть
установлен внутри контейнера илиямы. которые способны собирать все масло в случае утечки.
Учитывая тип обрабатываемых материалов, пользовательдолжен проверять и обращать внима
ние на любые вещества, способные нанести вред, если они выпускаются вакуумной системой и/или
осаждаются внутри рабочей камеры.
14.4 Возможности нанесония вреда здоровью
В дополнение к излучению (см. раздел 15) другие возможности нанесения вреда могутбыть созда
ны обрабатываемыми материалами.
В случае обработки керамических материалов надо принимать во внимание, что этот материал
может постепенно накапливаться настенке изащитныхэкранах камеры в нитевидныеструктуры. Защи
ты дыхательных органов должна быть применена при чистке рабочей камеры, чтобы избежать риска
легочных заболеваний.
Некоторые применения, особенно работа электронных пучков в тонких газах, может вызывать
ультрафиолетовое излучение. Меры защиты должны быть приняты в соответствии с национальными
правилами.
14.5 Вакуумная установка
Система вытяжки должна быть адекватного размера и все меры предосторожности должны быть
принятыдля защиты персонала от вредных излучений.
Движущиесячасти насосов, например, приводные ремни, шкивы ременнойпередачи ит.д. должны
бытьогорожены от случайного касания.
Если вакуумная камерадостаточно большаядля входа человека, тодолжны быть предоставлены
средства, чтобы предотвратить создание вакуума в камере, в то вромя как человек еще находится
внутри.
6