ГОСТ Р 8.904—2015
4.2.2 Каждый используемый диапазон нагрузок должен быть проверен (измерен) во всем
диапазоне нагрузок как при приложении, так и при снятии испытательной нагрузки. Должно быть
проверено (измерено) минимум 16 значений нагрузок, равномерно распределенных в диапазоне
приложения нагрузки, т. е. 16 значений нагрузок во время приложения силы и 16 значений нагрузок во
время снятия силы. Эта процедура должна повторяться не менее трех раз. после этого вычисляется
среднее арифметическое значение нагрузки из трех результатов измерений для каждой точки при
нагружении и раэгружении.
При проверке соответствия прикладываемой и снимаемой нагрузки разность между
максимальным и минимальным значениями измеренной нагрузки не должна превышать половину
предела допустимого отклонения, указанного в таблице 1.
Для каждой серии из трех измерений нагрузки разность между средним из измеренных значений
испытательной нагрузки и номинальной нагрузкой должна находиться в пределах допустимых
отклонений, указанных в таблице 1.
4.2.3 Если нагрузка, прикладываемая или снимаемая нагружающим устройством твердомера, не
удовлетворяет требованиям таблицы 1, то твердомер считается непригодным к эксплуатации.
Т а б л и ц а1 — Допустимые отклонения значений испытательной нагрузки
Диапазониспытательной naiруз«и (Я).Н
Пределыдопустимыхотклонений. %
я г 2
0.001 SЯ< 2
Я<0.001
±
1.0
±
1.0
±
2.5’’
Для нанодиапазона (ГОСТ Р 8.748) рекомендуется допустимое отклонение
±
1%.
4.3Подтверждение соответствия устройства измерения перемещения наконечника в
твердомере
4.3.1 Требуемое разрешение системы для измерения перемещения наконечника зависит от
значения наименьшей измеряемой глубины индентирования. Для микродиапазона оно составляет 0.2
мкм: для макродиапазона г 2 мкм.
Шкала прибора для измерения перемещения должна быть отградуирована таким образом, чтобы
позволяла проводить измерения глубины индентирования с разрешением, указанным в таблице 2.
4.3.2 Каждый измеряемый диапазон перемещений должен быть проверен с помощью
подходящего метода и соответствующей измерительной системы. Устройство должно быть проверено
минимум в 16 точках в каждом направлении, равномерно распределенных в проверяемом диапазоне
перемещений. Эта процедура должна повторяться три раза. Для каждой точки вычисляется среднее
арифметическое значение из трех измеренных перемещений.
Для измерения относительного перемещения наконечника рекомендуются следующие
измерительные системы: лазерный интерферометр, индуктивный датчик, емкостный датчик и
пьеэодатчик.
Для каждой серии из трех измерений разность между средним значением перемещения и
номинальным должна находиться в пределах допустимого отклонения, указанного в таблице 2.
Т а б л и ц а2 — Разрешение и пределы допустимых отклонений устройства для измерения
перемещения наконечника
Диапазон применения
Разрешение устройства для измерения
перемещения нм
Допустимое отклонение
Макродиапазон S100
±
1%
h
Микродиапазон
s
ю
±
1%
h
Нанодиапазон S 1
±
2 нм"
*’ Для нанодиапазона (ГОСТ Р 8.748) рекомендуется допустимое отклонение
±
1% h;
b
— номинальное
значение перемещения наконечника.
4.3.3Изменения температуры являются наиболее частым источником дрейфа. Чтобы
минимизировать вызванный температурой дрейф, температуру прибора нужно поддерживать таким
образом, чтобы скорость дрейфа оставалась постоянной в течение одного измерительного цикла.
Скорость дрейфа должна измеряться во время, непосредственно до или после каждого
измерительного цикла, например путем отслеживания перемещения наконечника в течение
соответствующего времени выдержки. В данные поверки (калибровки) перемещения должна быть
введена поправка на температурный дрейф, и произведение изменения скорости дрейфа на
3