ГОСТ РМЭК 62624—2013
При выполнении измерений происходит повреждение ИО, вследствие чего изменяются его
электрические характеристики. Поэтому на одном и том же ИО можно выполнить только одно изме
рение (п = 1, где п - количество измерений). Воспроизводимость результатов многократных измере ний,
выполняемых на одном и том же образце, не определяют.
1.3.5.3 Воспроизводимость результатов многократных измерений, выполняемых на оди
наковых образцах
Воспроизводимость результатов многократных измерений можно определить, выполнив изме
рения на одинаковых ИО (на пластину заземления, закрепленную на предметном столике микроско па.
помещают несколько подложек с одинаковыми ИО). Следует учитывать, что различия между от
дельными УНТ или пучками УНТ (количество УНТ в пучке, тип УНТ. конфигурация расположение УНТ
в пучке, длина УНТ идр.) оказывают влияние на результаты измерений.
1.3.5.4 Стандартные образцы
Воспроизводимость результатов измерений, выполняемых с помощью однотипных ИС анало
гичного назначения, можно определить, используя стандартные образцы. В стандартах или техниче
ских условиях на конкретные виды УНТ должны быть установлены:
- требования к стандартным образцам;
- требования к способам извлечения и размещения на подложке отдельной УНТ;
- требования к циклическим испытаниям для определения внутрилабораторной и межлабора
торной воспроизводимости результатов измерений.
1.3.6 Способы уменьшения влияния помех на результаты измерений
Чтобы уменьшить влияние помех на результаты измерений и получить наилучшее соотношение
сигнал/шум. необходимо обеспечить надежное заземление ИО. например, с помощью цепи с малым
полным сопротивлением.
Для уменьшения влияния помех, вносимых неомическими свойствами контакта, на результаты
измерений диапазон изменения выходного напряжения источника тока должен быть достаточно
большим.
Для снижения наводок от цепей переменного тока выполняют экранирование и заземление.
УНТ светочувствительны. Если полученные результаты измерений, проводимых в условиях
воздействия света, отличаются от результатов измерений, проводимых в условиях отсутствия света,
более чем на 1 %. измерения проводят внутри светонепроницаемой камеры, которая должна быть
заземлена (для безопасности).
В связи с наличием у ИС полного входного сопротивления в соответствии с 1.3.1 и необходимо
стью измерять значения силы тока менее 1мкА или напряжения менее 1 мВ. все потенциальные ис
точники электромагнитных или радиочастотных помех должны располагаться как можно дальше от
ИС во время выполнения измерений.
2 Термины, определения, обозначения и сокращения
2.1 Термины и определения
В настоящем стандарте применимы следующие термины с соответствующими определениями:
2.1.1 углеродная нанотрубка (carbon nanotube): Аллотропная модификация углерода, состоя
щая, как минимум, из одного слоя графена, свернутого в виде цилиндра.
2.1.2 хиральность (chirality): Свойство химической структуры быть несовместимой со своим
отражением в идеальном плоском зеркале.
2.1.3 испытуемый образец (device under test): Образец, специально изготовленный для выпол
нения на нем измерений методами, установленными в настоящем стандарте.
2.1.4 условия окружающей среды (environmental condition): Естественные или искусственные
условия, которым подвергается ИО во время хранения и выполнения измерений.
2.1.5 зонды «FORCE», «COMMON» (probes «FORCE», «COMMON»): Зонды, с помощью кото
рых подают напряжение (ток) с заданным значением на ИО и измеряют значения ВАХ двухзондоеым
методом.
2.1.6 испытательное напряжение (force voltage) напряжение форсирования’ (Ндп): Напряже
ние. подаваемое на ИО с помощью зондов от источника постоянного напряжения.
2.1.7 пластина заземлония (ground chuck) держатель заземления (Ндп): Токопроводящее ос
нование. связанное с электрической системой заземления, на котором расположена подложка с ИО.
’ Это дословный перевод на русский язык термина, приведенного в международном стандарте, который в
настоящем стандарте заменен на его синоним, более точно отражающий суть понятия, выраженную в при
веденном далее определении.
5