ГОСТ РМЭК 62624—2013
- указывают материал, из которого изготовлена подложка (подложка должна быть изготовлена
из электроизоляционных материалов);
- описывают процесс изготовления ИО;
- указывают способы обработки поверхности подложки до и после изготовления ИО. а также
между этапами процесса изготовления ИО (например, химический, механический или др.).
5.3 Определение характеристик, обработка и регистрация результатов
5.3.1 Требования к выполнению измерений
Диапазоны измерений должны быть установлены в стандартах или технических условиях на
конкретные виды УНТ. Шаг дискретности устанавливают таким образом, чтобы можно было получить не
менее десяти точек значений для построения ВАХ. Рекомендуется строить ВАХ по двадцати пяти или
более точкам значений (чем больше точек, тем болео точно будет аппроксимирована кривая и
достигнуто большее отношение сигнал/шум. и, следовательно, получены более точные значения ха
рактеристик ИО). В протоколе регистрируют подробную информацию о количестве точек в каждом
измерении (например, количество переходных процессов, шагов, точек измерений и др.).
Измеренные значения должны отражать весь ожидаемый диапазон рабочих значений ИО.
Диапазон заданных значений должен охватывать весь диапазон рабочих значений ИО. т.е. в
процессе измерений значения должны быть заданы таким образом, чтобы определяемые характери
стики ИО продемонстрировали весь ожидаемый диапазон рабочих значений.
Диапазоны рабочих значений должны быть установлены в стандартах или технических услови
ях на конкретные виды УНТ.
Подложка с ИО должна находиться в электрическом контакте с пластиной заземления, связан
ной с системой заземления экранированным проводом.
Если измерения выполняют в соответствии с 1.3.3.3. то к каждому электроду ИО прикладывают
один зонд. Если измерения выполняют в соответствии с 1.3.3.2. то к каждому электроду ИО прикла
дывают два зонда.
5.3.2Выполнение измерений, обработка и регистрация результатов
5.3.2.1 Электрические характеристики УНТ, подлежащие регистрации
В таблице 1 представлены электрические характеристики УНТ. которые определяют по резуль
татам измерений ИО и регистрируют в протоколе.
Т а б л и ц а 1 - Электрические характеристики УНТ. которые определяют по результатам измерений
Буквенное обозначение
Единица измерения
О
Р
Р
N
См/см
Ом см
см’/В с
см"
CMJ
c
m
j
ИО и регистрируют в протоколе
Наименование характеристики
Удельная электрическая проводимость
Удельное электрическое сопротивление
Подвижность носителей заряда
Концентрация основных носителей заряда
Концентрация электронов - носителей заряда
Концентрация дырок - носителей заряда
Ток насыщения при обратном смещении
п
Р
К
А
5.3.2.2Определение удельной электрической проводимости и удельного электрического
сопротивления
В зависимости от электропроводности УНТ могут иметь диэлектрические, полупроводниковые и
проводниковые свойства. Для УНТ с диэлектрическими и полупроводниковыми свойствами значение
удельной электрической проводимости должно быть указано в стандартах или технических условиях
на конкретные виды УНТ. Для УНТ с проводниковыми свойствами значение удельного электрического
сопротивления должно быть указано в стандартах или технических условиях на конкретные виды
УНТ.
Удельную электрическую проводимость а. См/см, и удельное электрическое сопротивление р,
Ом см. определяют по результатам измерений ИО с линейной ВАХ при наличии омических контактов
(см. 1.3.3.1) методами ПТ (см. 1.3.3.2) и ПН (см. 1.3.3.3).
Метод ПТ применяют для ИО с сопротивлением до 100 кОм включительно. Через ИО пропус
кают постоянный электрический ток с заданным значением плотности J, А^см2, и определяют напря
женность электрического поля Е. В/см. Измерения выполняют четырохзондовым методом: электриче
ский ток пропускают через наружные зонды, расположенные на внешних границах ИО. и
измеряют напряжение двумя внутренними зондами.
9