ГОСТ Р МЭК 62624—2013
лем тока. Поскольку напряжение на измерителе тока ничтожно мало, то в основном все напряжение
приложено к ИО. Характеристики УНТ определяют в соответствии с 5.3.2.2.
R
1- источник постоянного напряжения. ■>- пвизвестное сопротивление ИО; А - измеритель тока
Рисунок 3 - схема метода ПН для ИО с сопротивлениями более 100 кОм
Выполнив многократные измерения, строят график зависимости сопротивления от напряжения.
Для выполнения измерений допускается применять ИИ, который настраивают как источник по
стоянного напряжения. Величина тока, проходящего через ИО. во время измерений не должна пре
вышать значений, установленных в стандартах или технических условиях на конкретные виды УНТ.
Значение выходного напряжения контролируют с помощью зондов «FORCE» и «COMMON»
(двухзондовым методом) или с помощью зондов «SENSE» и «SENSE LO» (четырехзондовым мето
дом). Если измеренное значение напряжения не совпадает с заданным значением, то источник на
пряжения регулируют до достижения соответствующего значения. Применение четырехзондовото
метода позволяет исключить падение напряжения в соединительных проводах и обеспечить появле ние
точно заданного напряжения на ИО.
1.3.4 Повторяемость результатов измерений и отбор образцов
Порядок отбора образцов, оптимальный объем выборки и методы определения повторяемости
результатов измерений должны быть установлены в стандартах или технических условиях на кон
кретные виды УНТ. При отборе образцов в выборку следует учитывать, что УНТ, изготовленные раз
ными способами, отличаются по характеристикам.
В протоколе измерений (далее - протокол) должны быть зарегистрированы следующие сведе
ния. указанные в стандартах или технических условиях на конкретные виды УНТ:
- значения характеристик УНТ. необходимых для выполнения измерений;
- методы отбора образцов;
- значения, которым должны соответствовать получаемые результаты, и значения, необходи
мые для определения повторяемости результатов измерений (например, средние значения, пре
дельные значения, математическое ожидание измеряемых характеристик, стандартные отклонения и
ДР-)-
Если в стандартах или технических условиях на конкретные виды УНТ объем выборки не ука
зан. измерения выполняют на одном образце. В этом случае сведения, необходимые для определе
ния повторяемости результатов измерений, в протокол не включают.
1.3.5 Воспроизводимость результатов измерений
Подложки с ИО помещают на пластину заземления, закрепленную на предметном столике мик
роскопа, и выполняют последовательные измерения. Для определения воспроизводимости результа
тов измерений на пластину заземления следует помещать от двух и более подложек с ИО.
Воспроизводимость результатов измерений определяют методами, установленными в стандар
тах или технических условиях на конкретные виды УНТ.
В процессе выполнения измерений должно быть обеспечено воспроизведение условий окру
жающей среды, установленных в стандартах или технических условиях на конкретные виды УНТ.
1.3.5.1 Воспроизводимость результатов измерений, выполняемых с помощью ИС
Воспроизводимость результатов измерений, выполняемых с помощью ИС. можно определить,
выполнив измерения значений ВАХ на нескольких стандартных образцах, которые не являются УНТ.
Такие стандартные образцы должны быть утверждены и зарегистрированы в установленном порядке.
1.3.5.2 Воспроизводимость результатов многократных измерений, выполняемых на од
ном и том же образце
4