ГОСТ РИС011171—2012
Приложение I
(справочное)
Проверка распределения частиц по размерам
в образцах для калибровки
1.1Предварительная информация
Для правильной калибровки АСЧ. в соответствии с разделом 6 необходимо использовать аттестованные
образцы при первичной и вторичной калибровке. Для проверки точности подсчета частиц использовались образ цы
NIST RM 8632 (см. приложение Е). Независимо от того, будут ли это первичные или вторичные калибровочные
образцы, или образцы NIST RM 8632. необходимо, чтобы распределение частиц по размерам в пробе было
представительным для рассматриваемого загрязнителя. Даже если при приготовлении образца был использо ван
установленный загрязнитель, распределение частиц по размерам может измениться в зависимости от мето дики
приготовления образца, порчи образцов со временем, загрязнения или других причин. В приложении приве дено
руководство по проверке распределения частиц по размерам для образца в соответствии с настоящим
стандартом.
1.2Методика
1.2.1 Проводят калибровку АСЧ в соответствии с разделами 5 и 6 с использованием образцов суспензий
NIST для первичной калибровки (см. 4.4)
1.2.2 Выбирают размеры частиц и соответствующие им значения порогового напряжения в соответ
ствии с 6.2.
1.2.3 Проводят анализ проб в соответствии с 6.2 и 6.3.
1.2.4 Вычисляют отношение средней счетной концентрации частиц для каждого размера в образце к соот
ветствующей средней счетной концентрации частиц в образце сравнения Rd. по формуле
(И )
где Xas — средняя счетная концентрация частиц в образце при размере частиц d;
Хая — средняя счетная концентрация частиц в образце сравнения при таком же размере частиц.
Для образцов, применяемых при первичной и вторичной калибровке, значение XaR следует брать из серти
фиката анализа NIST SRM 2806. Для образцов ISO UFTD ХаR— получают вычислением среднего значения
счетной концентрации для каждого размера, приведенного в таблице А.1.
1.2.5 Строят график зависимости Ra для каждого размера от размера частиц d. Если полученный график
близок к горизонтальной линии, то это свидетельствует о том. что распределение частиц по размерам для пробы
приближается к распределению частиц по размерам для образца сравнения. Если полученный график не гори
зонтален или наблюдаются значимые отклонения от горизонтальной линии при одном или болев размерах
частиц, то это свидетельствует о том. что проба не представительна по отношению к образцу сравнения и ее не
следует использовать.
1.2.6 Вычисляют отношение Т„ средней счетной концентрации частиц для каждого размера к соответству
ющей средней счетной концентрации частиц в этой же пробе при размере 10 мкм(с). по формуле
* tf.s
*10,S
(I 2)
где Xas — средняя счетная концентрация частиц в пробе при размере частиц d,
*io.s — средняя счетная концентрация частиц в этой же пробе при размере частиц 10 мкм(с).
1.2.7 Повторяют 1.2.6для образца сравнения.
1.2.8 Для образца контролируемого и образца сравнения строят графики зависимости Та для каждого
размера частиц от d. Если полученные линии имеют практически одинаковый вид. то это свидетельствует о том,
что распределение частиц по размерам в пробе приближается к распределению частиц по размерам в образце
сравнения. В противном случае образец не представителен по отношению к образцам сравнения и его не следу ет
использовать.
1.2.9 Если проба соответствует требованиям, приведенным в 1.2.5и 1.2.8. тоона пригоднадля использования
в соответствии с настоящим стандартом. В противном случае пробу следует заменить или приготовить заново
после выполнения корректирующих действий.
43