ГОСТ 8.594—2009
рисунке 1а), приведено на рисунке 16) — для низковольтного РЭМ и на рисунке 1в) — для высоково
льтного РЭМ. На рисунке 1также приведены обозначения параметров, характеризующих геометричес
кую форму иразмеры выступа.
П р и м е ч а н и е — Значение электронно-оптического увеличения РЭМ должно обеспечивать получение
изображений, которые позволяют определить значения параметров, приведенных на рисунке 16)и в). При этом зна
чения проекций наклонных стенок выступа A
l
и
A
r
, измеренных по видеопрофилю, должны быть не менее 200 пик
селей.
YA
а) С то га высшм рельефной
м кы гг» ГОСТ8
Л
М
8) Видеопрофильвыступе
мгыкЬнойшш
в ганволыном РЭМ
в) Зеддопрофмъ выступа
ропьофноймеры
в выОООэОльтнСы РЭМ
X
— ось значений координаты электронного зонда в направлении сканирования а пикселях; У — ось значений величины инфор
мативного сигнала в пикселях
Рисунок 1 — Сечение выступа рельефной меры иего видеопрофили, полученные
с помощью РЭМ различных типов
8.2.5 Послезавершенияоперации настройкипо8.2.4 определяютзначение впикселяхобщейдли
ны видеопрофиля в направлении сканирования. Это значение общей длины видеопрофиля, а также
установленное при этом значение электронно-оптического увеличения РЭМ указывают в протоколе
поверки.
8.2.6 Проверяютустановку рельефной меры на рабочемстоле РЭМ всоответствиис инструкцией
поего эксплуатации. При этом проверяют.
- параллельность вертикальной оси изображения относительно перпендикуляра к поверхности
рельефноймеры. Дляобеспечения параллельностиповорачиваютрельефную мерувокруг оси. перпен
дикулярной к плоскости ее поверхности, или осуществляют электронное вращение растра РЭМ. если
такая возможность предусмотрена конструкцией РЭМ;
5