ГОСТ 8.594—2009
9.3 Вычисление масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ
Масштабный коэффициент видеоизображения т. нм/пиксель, вычисляют по формуле
(2)
т = - ^ — .
К - * *
где а — значение проекции наклонной стенки выступа, приведенное в паспорте (формуляре) на рель
ефную меру, нм;
A
l
.A
r
— расстояния между контрольными точками, вычисленные по9.2. пиксель.
9.4 Вычисление эффективного диаметра электронного зонда РЭМ
Эффективный диаметр электронного зонда РЭМ d, нм. вычисляют поформуле
(3)
2
где т — масштабный коэффициент видеоизображения, вычисленный по9.3. нм/пиксель:
D
l
.Ds — расстояния между контрольными точками, вычисленные по 9.2. пиксель.
9.5 Погрешность измерений
Погрешности измерений метрологических характеристик микроскопа, вычисленных по формулам
(2) и (3). составляют;
- для масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ т относительная погрешность изме
рения - неболее х 1.0 %,
- для эффективного диаметра электронного зонда РЭМ d абсолютные погрешности измерений в
зависимости от значений d приведены в таблице 2.
Т а б л и ц а 2 — Абсолютные погрешности измерений d
Диапазон измерений
d ,
нм
Абсолютные погрешности измерений, нм. не более
1 0 -2 0
20— 50
Б олее 50
±
1.0
±
2.5
±
5 .0
10 Оформление результатов поверки
10.1 Результаты поверки оформляют в виде свидетельства установленной формы, внесением
соответствующей записи в паспорт (формуляр) на РЭМ иоттиском ловерительного клейма, наносимого
на РЭМ.
10.2 Наоборотнойстороне свидетельствао поверкеи в паспорте (формуляре)РЭМдолжны быть
приведены значения масштабногокоэффициента видеоизображения РЭМ т и эффективногодиаметра
электронного зондаdc погрешностямиихизмерений по9.5, атакже значенияобщейдлины видеопрофи
ля и электронно-оптического увеличения РЭМ. определенные по 8.2.5.
7