ГОСТ 8.594—2009
М Е Ж Г О С У Д А Р С Т В Е Н Н Ы ЙС Т А Н Д А Р Т
Государственная система обеспечения единства измерений
МИКРОСКОПЫ Э
Л
ЕКТРОННЫЕ РАСТРОВЫЕ
Методика поверки
State system for ensuring the uniformity of measurements.
Scanning electron microscopes. Verification methods
Дата введения — 2010—11—01
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы (далее — РЭМ),
применяемыедля измеренийлинейных размероввдиапазонеот 10 sдо 10-6м. иустанавливаетметоди ку
их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ 8.591 и ГОСТ
8.592.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие межгосударственные
стандарты.
ГОСТ 8.591—2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф
ные нанометровогодиапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
ГОСТ 8.592—2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф
ные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим фор
мам, линейным размерам ивыборуматериаладля изготовления
ГОСТ 12.2.061—81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное.
Общиетребования безопасности к рабочим местам
ГОСТ ИСО 14644-1—2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 1. Классификация чистоты воздуха
П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч
ных стандартов на территории государства по соответствующему указателю стандартов, составленному по состоя
нию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям,
опубликованным в текущем году. Если ссылочный документ заменен (изменен), то при пользовании настоящим
стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный документ отме
нен без замены,то положение, в котором дана ссылка на него, применяется вчасти, не затрагивающей эту ссылку.
3 Термины и определения
В настоящем стандарте применены следующие термины ссоответствующими определениями.
3.1
растровый электронный микроскоп (РЭМ): Электронный микроскоп, формирующий изобра
жение объекта при сканировании его поверхности электронным зондом.
(ГОСТ 21006—75. статья 3)
Издание официальное
1