ГОСТ 8.594—2009
Пример — Трапецеидальный выступ, представляющий собой элемент рельефа поверхности, гео
метрическая форма минимального по площади сечения которого наиболее адекватно аппроксимирует ся
трапецией.
3.16 электронный зонд РЭМ: Сфокусированный на поверхности объекта электронный пучок
РЭМ.
3.17 низковольтный растровый электронный микроскоп: РЭМ. ускоряющие напряжение
которого не более 2 кВ.
3.18 высоковольтный растровый электронный микроскоп: РЭМ. ускоряющие напряжение
которого не менее 15 кВ.
3.19 сканирование (РЭМ элемента исследуемого объекта): Перемещение электронного зонда
вдольвыбранногоотрезкаисследуемогообъекта с помощью отклоняющейсистемы РЭМсодновремен
ной регистрацией информативного сигнала.
3.20 медленные вторичные электроны: МВЭ: Группа вторичных электронов, возникающая в
результате взаимодействия электронного зонда с исследуемым объектом, энергия которых не превы
шает 50 эВ (* 8 •10’18Дж).
3.21 эффективный диаметр электронного зонда: Значение величины, характеризующее
поперечный размер электронного зонда, экспериментально определяемое путем обработки кривой
видеосигнала в режиме регистрации МВЭ в рамках выбранной модели взаимодействия зонда с
веществом.
4 Операции и средства поверки
4.1 При проведении первичной ипериодическихповерок РЭМдолжны бытьвыполнены операции
и применены средства поверки, указанные в таблице 1.
4.2 Допускается применятьдругиесредства поверки, точность которыхсоответствует требовани
ям настоящегостандарта.
Т а б л и ц а 1 — Операции и применяемые средства поверки
Наименование операции
Номер подраздела
настоящего
стандарта
Наименование средства поверки и его основные технические и
метрологические характеристики
Внешний осмотр
8.1
-
Опробование
8.2
Рельефная мера, изготовленная по ГОСТ 8.592 и поверен
ная по ГОСТ 8.591
Определениеметро
логических характеристик
8.3
То же
5 Требования к квалификации поверителей
Поверку РЭМ должны проводить штатные сотрудники метрологической службы предприятия,
аккредитованной в установленном порядке на право поверки средств измерений. Сотрудники должны
иметь высшее образование, профессиональную подготовку, опыт работы с РЭМ и знать требования
настоящего стандарта.
6 Требования безопасности
6.1 При поверкемикроскоповнеобходимособлюдатьправилаэлектробезопасностии требования
к обеспечению безопасности на рабочих местах по ГОСТ 12.2.061.
6.2 Рабочие места поверителей должны быть аттестованы по условиям труда в соответствии с
требованиями трудового законодательства.
3