ГОСТ Р ИСО 14644-8—2008
Т а б л и ц а 1 — Классификация молекулярных загрязнений
Концентрация загрязнений
Обозначение класса
молекулярного загрязнении
г/м*
МКГ/М3
Hf/M*
010°
10*(1000000)
10s(1000000000)
-1
10*’
10s (100000)
10е (100000000)
-2
10°
ю 4(10000)
10; (10000000)
-310 s
10s(1000)
10“ (1000000)
10J(100)
105(100000)
10’ (10)
104(10000)
-4
10"*
-5
10-J
-610-*
Ю° (1)
10*(1000)
-710-’
10-’ (0.1)
10* (100)
-810 е
10 * (0.01)
10’ (10)
-910*
10"3(0.001)
10° (1)
-1010-’°
10-4 (0.0001)
10-’ (0.1)
-1110 ”
10 s (0.00001)
10 * (0.01)
-1210",J
10_B(0.000001)
10 s(0.001)
Х2
Х1
XI — концентрация (нгГм3).Х2 — концентрациями3).Y - классИСО-АМС
Рисунок 1 — Классы ИСО-АМС в зависимости от концентрации загрязнений
3