ГОСТ РИСО 14644-8—2008
Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТР О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды
Ч а с т ь 8
КЛАССИФИКАЦИЯ МОЛЕКУЛЯРНЫХ ЗАГРЯЗНЕНИЙ В ВОЗДУХЕ
Cleanrooms and associated controlled environments.
Part 8. Classification of airborne molecular contamination
Дата введения — 2009—09—01
1 Область применения
Настоящий стандарт устанавливает классификацию молекулярных загрязнений в воздухечистых
помещенийисвязанныхс нимиконтролируемыхсредс учетомиххимическогосостава, методов испыта
ний ианализа сучетом фактора времени.
Стандарт рассматривает молекулярные загрязнения в воздухе в пределах от 10° до 10*12г/м3.
Стандартнепредназначендля применения вслучаях, когдааэрозольные молекулярные загрязне
ния не представляют опасностидля продукции или процесса.
Стандарт не содержитописания природы молекулярных загрязнений.
Стандарт не устанавливает классификацию молекулярныхзагрязнений поверхностей.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использована нормативная ссылка на следующийстандарт:
ИС014644-6—2007 Чистыепомещенияисвязанные сними контролируемыесреды. Часть6. Тер
мины
3 Термины и определения
В настоящем стандарте применены термины с соответствующимиопределениями:
3.1 Общие термины
3.1.1 молекулярные загрязнения (molecular contamination): молекулярные образования хими
ческой природы (не частицы), которые могут оказать отрицательное влияние на продукт, процесс или
оборудование.
3.1.2 молекулярные загрязнения в воздухе (airborne molecularcontamination — АМС): молеку
лярные загрязнения в виде газов или паров, находящиеся в воздухе чистого помещения и контролируе
мой среды, которые могут оказатьотрицательное влияние на продукт, процессили оборудование.
П р и м е ч а н и е — Это определение не распространяется на макромолекулярные образования биологи
ческой природы, которые рассматриваются как частицы.
3.1.3 молекулярные загрязнения поверхностей (surface molecular contamination — SMC):
молекулярные загрязнения, осевшие на поверхности, которые могутоказатьотрицательное влияние на
продукт или поверхность в чистом помещении и контролируемой среде.
3.1.4 вид загрязнения (contaminant category): общее наименование веществ, которые оказыва
ют специфическое или отрицательное воздействие при ихоседании наповерхность.
3.1.5 выделение (outgassing): выделение материалом газов или паров.
Издание официальное
1