ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО
ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ
Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й
С Т А Н Д А Р Т
Р О С С И Й С К О Й
Ф Е Д Е Р А Ц И И
ГОСТ Р исо
1 4 6 4 4 - 8 -
2008
Чистые помещения и связанные
с ними контролируемые среды
Ч а с т ь 8
КЛАССИФИКАЦИЯ МОЛЕКУЛЯРНЫХ
ЗАГРЯЗНЕНИЙ В ВОЗДУХЕ
ISO 14644-8:2006
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 8: Classification
of airborne molecular contamination
(IDT)
Издание официальное
да
CN
СО
s
<N
l
<*>
Ш
Отеидерпшферм
н о »
система сертификации