ГОСТ 30480-97
ПРИЛОЖЕНИЕ А
(справочное)
Т а б л и ц а Л.1 —Физические основы методов исследования материалов поверхностей грсния
Метод
исследования
Физический ПрИНПНН.
используемый
в
приборе
Рлзрешзюшзя
способность
Область
применения
Ф ижчсские
оспины
чсики исследования
Растровая элек Взаимодействие с по5—20 нм
тронная микро верхностью падающего
скопияпучка электронов. Ис
следованиерентгенов
скихлучейможно
проводить методом дис
персионного анализа по
дисперсии энергии или
длин волн налучения.
Анализ дисперсии энер
гии быстрее, но дает
меньшее разрешение
1 Сканирование по Исследуемое рентге
верхности электронным новское ихтученис об
пучком с целью получе лачает энергией, харак
ния ее изображения. терной для того или
2 Микроанализ по иного элемента, и мо
верхностного слоя,осо жет быть использовано
бенно при исследова при идентификации эле
нии элементов с атом ментов, присутствующих
ным номером более 35 в обьсме образца вблизи
поверхности трения
Просвечиваю Метод микродш]>рак-£10 нм
щийэлектрон ции со стационарным
ный микроскоп пучком, возможен ска
(ПЭМ)нирующий пучок
Микроанализ частиц Электронная дифрак
износаималеньких ция с использованием
участков поверхности, падающего пучка
особенно при объясне
нии химических реак
ций на поверхности об
разца
Рентгеновская
флюорисиенция
Испусканиерентге- ВторичныеНсразрушающий ха- Сигналотдельного
новских лучей атомов, рентгеновские рактер исследования с элемента пропорциона
возбужденных падаю лучи могут воз целью количественного лен концентрации этою щим
рентгеновским из никать на глуби анализа элементов, тя элемента.
лучением не £10 мкм. Чув желее кислородаКоличественный ана
ствительность до лиз
0.0001
%
для тя
желых элементов
Акустическая
микроскопия
Различные материалы
в разной мере способст
вуютпрохождению
звука
£0,5 мкм
Исследование тонких Ультразвуковые вол
пленок ны в мета- или гигагер
цевом диапазоне фоку
сируются линзойна
образец.Поверхность
сканируется падающим
пучком волн
Оптическая
микроскопия
Исследование микро-
структуры с целью каче
ственного определения
фазового состава и ко
личественногосодер
жания фаз, размера и
распределенияструк
турных составляющих
Увеличение
100...200‘
Наличие поврежде- Метол наблюдения нс
ний, очагов коррозии и различимых человечес
разрушения ким глазом объектов
через оптический при
бор, сильно увеличи
вающий изображение
Рентгеновский Взаимодействие рент- Для исслсдова- Исследование тонкой Метол исследования
структурный ана- геновского излучения с ния структуры структурыметалла, струк- структуры вещества по
ЛИЗ
электронами вещества, применяют излу турных изменений распределению в про в
результате которого чение с длиной странстве и интенсив
возникает дифракция волны ностям рассеянного на
рентгеновских лучей А (0,! нм) анализируемом объекте
рентгеновского излуче
нии
7