ГОСТ Р 52615—2006
ГОСТ ИСО/ТО 12100-1—2001 Безопасность оборудования. Основные понятия, общие принци
пы конструирования. Часть 1. Основные термины, методика
ГОСТ ИСО/ТО 12100-2—2002 Безопасность оборудования. Основные понятия, общие принци
пы конструирования. Часть 2. Технические правипа и технические требования
П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч
ных стандартов а информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агент
ства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно
издаваемому информационному указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1
января теку щего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям,
опубликованным е теку щем году. Если ссылочный документ заменен (изменен), то при пользовании
настоящим стандартом следует руководствоваться замененным (измененным) документом. Если ссылочный
документ отменен без замены, то по ложение. в котором дана ссылка на него, применяется в части, не
затрагивающей эту ссылку.
3 Термины и определения
В настоящем стандарте применены термины по ГОСТ 5197 и ГОСТ ИСО/ТО 12100-1, а также сле
дующие термины с соответствующими определениями:
3.1 вакуум (vacuum): Состояние среды, абсолютное давление которой меньше атмосферного.
П р и м е ч а н и е — Давление измеряют в Паскалях (Па), миллибарах (мбар) или а миллиметрах ртутного
столба 1 мбар =100 Па. 1 мм рт.ст. = 133.322 Па.
3.2 вакуумный насос (vacuum pump): Устройство, предназначенное для создания, повышения и
поддержания вакуума.
3.3 форвакуумный насос (backing vacuum pump): Вакуумный насос, предназначенный для под
держания в выходном сечении насосадавления более высокого вакуума, при котором последний может
обеспечивать заданные параметры откачки.
3.4 низковакуумный насос (rough vacuum pump): Вакуумный насос, предназначенный для пони
жения давления в откачиваемом объеме с атмосферного и создающий давление в интервале, харак
терном для низкого вакуума.
3.5 высоковакуумный насос (high vacuum pump): Вакуумный насос, работающий на ступени са
мого низкогодавлениясистемы, состоящей издвух или более последовательно соединенных насосов.
П р и м е ч а н и е — Высоковакуумный насос предназначен для совместной работы с форвакуумным насо
сом для создания более высокого вакуума.
3.6 вакуумная система (vacuum system): Совокупность взаимосвязанных устройств для созда
ния. повышения и поддержания вакуума, приборовдля вакуумных измерений, а такжеоткачиваемых со
судов и связывающих их вакуумных трубопроводов.
П р и м е ч а н и е — В настоящем стандарте к вакуумным системам относят откачные посты и ваку
умные агрегаты.
3.7 насос объемного действия (positive displacement pump): Механический вакуумный насос, в
котором объем, заполненный газом, периодическиотсекается от входа насоса и перемещается к его вы
ходу.
3.8 пароструйный насос (vapourjet pump): Вакуумный насос, в котором откачиваемые газы пере
мещаются за счет высокоскоростной струи пара, направленной в сторону выхода насоса.
3.9 крионасос (cryopump): Вакуумный насос, в котором откачиваемые газы либо конденсируются
на поверхности, либо поглощаются адсорбирующим пористым материалом большой рабочей площади,
охлажденным до сверхнизкой температуры (криотемпературы) (например конденсационные и адсорб
ционные крионасосы).
П р и м е ч а н и е — Термин «криотемпература» применяют для температуры ниже 120 К.
3.10 геттерный насос (getter pump): Вакуумный насос, действие которого основано на явлении
хемосорбции откачиваемого газа геттером.
П р и м е ч а н и е — Геттер — вещество, поглощающее газы.
3.11 магнитный электроразрядный насос (sputter ion pump): Геттерно-ионный вакуумный
насос, в котором для распыления геттера используют газовый разряд в магнитном поле.
2