ГОСТ 33866—2016
(ISO 27892:2010)
М Е Ж Г О С У Д А Р С Т В Е Н Н Ы ЙС Т А Н Д А Р Т
Вакуумная технология
ТУРБОМО
Л
ЕКУ
Л
ЯРНЫЕ НАСОСЫ
Измерение крутящего момента для быстрого выключения
Vacuum technology. Тurbomolecuiar pumps. Measurement ofrapid shutdown torque
Дата введения — 2018—01—01
1 Область применения
Настоящийстандартраспространяется натурбомолекулярные имолекулярные насосы и устанав
ливает метод измерения крутящего момента для быстрого выключения (разрушающего крутящего
момента)насосов, вкоторыхгазовый импульссоздаетсянаклоннымипластинамисосевымнаправлени
ем потока и/или спиральными каналами. Основными силами, воздействие которых приводит к выходу
насоса из строя, являются моменты, образующиеся вокруг оси вращения. Другие незначительные
дефекты, возникающие при работе насоса, не рассматриваются в данном стандарте.
Настоящий стандарт распространяется надва вида выхода изстроя насоса: быстрое выключение
по причине полного разрушения насоса и разрушение ротора. Разрушающий контроль приводит к
полному разрушению или повреждению насоса, этот метод измерения может применяться как для
турбомолекулярных так идля молекулярных насосов.
2 Термины и определения
В настоящем стандарте примененыследующие термины ссоответствующими определениями.
2.1 входной фланец (inlet flange): Входной всасывающий фланец турбомолекулярного насоса,
предназначенный для соединения с патрубком вакуумной камеры, которую необходимо откачать.
2.2 ротор; вращающийся корпус; вращающиеся детали (rotor; rotational body: rotational
parts): Сборный блок (вакуумного насоса), состоящий из вала, корпуса и лопаток ротора, установлен
ный на подшипникахи приводимый вдействие электродвигателем.
2.3 лопатки ротора; лопатки турбины; вращающиесялопатки (rotor blade: turbineblade: rotating
blade): Деталь насоса, линейная скорость вращения которой близка к скорости звука икоторая направ
ляет поток откачиваемого газа в сторону выхлопа вакуумного насоса, аналогично лопаткам турбинного
типа с осевым направлением потока.
2.4 корпус ротора; цилиндрическая часть ротора; втулка ротора (rotor body: cylinder part of
rotor: rotorhub): Узел ротора (вакуумного насоса) за исключением лопаток.
2.5 центробожноо разрушение; трещина, вызванная действием центробежной силы; раз
рыв. вызванный действием центробежной силы (centrifugal destruction: split caused by centrifugal
force; rupturecaused by centrifugal force): Дефекты, возникающиев корпусеротора вследствие возникно
вения растягивающего напряжения по окружности сверх предельного значения, в результате воздей
ствия центробежной силы на ротор во время работы.
2.6 разрушающий контроль (destructive test): Испытание корпуса на прочность и измерение
разрушающего крутящего момента, приводящего к разрушению корпуса ротора (испытание на разрыв)
или лопатокротора (испытание на разрушение) турбомолекулярного насоса.
Издание официальное
1