ГОСТ 33868—2016
Введение
Турбомолекулярные или молекулярные высоковакуумные насосы обладают большим количест
вом энергии, которая сосредоточена в роторе благодаря его высокой частоте вращения. В случае если
происходит выход изстроя ротора, энергия высвобождается в течение короткогопромежутка времени и
это можетпривести к разрушению корпуса насоса. Также в корпусе насосаобразуется крутящий момент
и существует вероятностьтого, что болты крепления насоса разрушатся.
Настоящий стандарт основан на результатах, полученных в процессе изучения отказов вероят
ностей. и разработан для производителей турбомолекулярных и молекулярных насосов с целью
повышения безопасности потребителей.
Настоящий стандарт распространяется на методы измерения крутящего момента для быстрого
выключения турбомолекулярных имолекулярных насосов.
Термин «турбомолекулярный насос», используемый в настоящем стандарте, является общим и
включает молекулярные насосы и насосы, которые сочетают в себе обе технологии на одном валу.
in