ГОСТ Р МЭК 62264-2—2016
Произвед
Предприятие
ет
псиный
объект
Область
Рабочий
цемтр/Рлбо-
чая ячейка
Рабочий узел
Оборудование
Входной
каскад
Нанесение
покрытия
CVD
Инструменты нане
сения покрытия
Химическоепарофазное
осаждение (CVD-процесс)
Инструмент обеспе
чениятребуемой
толщины покрытия
PVD
PVD (термовакуумное осаж
дение из паровой фазы)
Метрология
Инструмент обеспе
чениятребуемой
толщины покрытия
Дефект толщины
Инструмент для ис
следования дефек
тов
Характеристики
Полировка
СМР
(СМР)Химико-механиче
ская полировка (Подложка
готова к следующему шагу
операции)
Литография
Инструмент
Маска электрической цепи
Протрава
Инструмент
Печь
Инструмент
Повторяет вышеуказанные
действия до получения под
ложки требуемого качества
Устройства
вывода
Пассивация
Подготовка к склейке под
ложки
Склеивание
Нарезание
полупрово
дниковой
пластины
Упаковка
Тестирова
ние
С.4 Примеры моделей персонала
Это упрощенный пример информации о персонале нефтехимической промышленности. Пример содержит
информацию (коллективного пользования) о классах персонала и физических лицах, включая информацию о ква
лификационном тесте.
144