ГОСТР ИСО 16243—2016
l
k) конечную энергию или диапазон сканирования;
) число точек данных, выраженное как целое число или как число, вольт/шаг, и ширину энергети
ческого канала;
т) время сбора данных, выраженное либо как время/шаг, либо как полное время с указанием
времени измерения и длительности рентгеновского облучения;
п) условия компенсации заряда, если использовалась компенсация заряда.
о) значение угла регистрации для фотоэлектронов, если этот угол может быть изменен инстру
ментальным образом;
р) если средство измерений можетработать с различными режимами для линз, используемый режим.
Вся вышеуказанная информация впоследствии должна быть передана аналитиком, проводящим
анализ, заказчику по его запросу вместе с анализом РФЭС данных. Заказчик и аналитик определяют
формат, используемый для передачи этой информации. Например, экспериментальная информация
может содержаться в приложении или в экспериментальной части протокола.
Рентгеновский фотоэлектронный спектрометр должен быть откалиброван в соответствии с ИСО
15472 или с помощью метода калибровки, указанного в документах изготовителя.
4.3 Спектры
Все РФЭС спектры, поставляемые заказчику, должны содержать следующую минимальную ин
формацию:
a) пик или обозначение области (например. С 1s. Си 2рЗ/2).
Примечание — 1s — обозначение первой электронной оболочки атома кислорода, s — соответствует
s-электрону:
b
) обозначение оси абсцисс, например, энергия связи Ев или кинетическая энергия Е:
с) метки на оси абсцисс, показывающие диапазон сканирования по энергии, например точки от
ОэВ до 1200 эВ. или как энергию, соответствующую цене деления шкалы;
d) обозначение оси ординат, показывающее либо число отсчетов, либо число отсчетов в секунду,
либо просто шкалу в условных единицах;
e) метки на оси ординат, показывающие интенсивность как число отсчетов в секунду на деление
шкалы либо число отсчетов на деление шкалы (число отсчетов на канал или число отсчетов в секунду на
канал):
0 полное время сбора данных в отображаемой области;
д) любую используемую ссылку, касающуюся энергий, такую как. например. С 1s (С-Н) (=285 эВ),
и была ли шкала энергий откорректирована в соответствии с этой ссылкой;
h)информацию обо всех функциях по обработке данных, примененных к необработанным спек
трам. например, сглаживание, коррекция функции передачи, удаление резких выбросов.
Дальнейшая информация может быть включена по желанию аналитика или по просьбе заказчика.
Примеры РФЭС спектров приведены в приложении А (см. рисунки А.1 и А.2).
4.4 Количественная информация
При обработке РФЭС данных и передаче их заказчику в виде количественных данных следующая
информация о способе получения количественныхданных также должна быть доступна заказчику, если
требуется:
a) количественная модель, например, однородное твердое тело; однородное твердое тело, по
крытое слоем загрязнения; твердое тело, содержащее слои;
b
) наименование и версия используемого программного обеспечения по обработке информации;
c) тип фонового сигнала, используемого для обработки данных, включая начальную и конечную
точки, если это применимо,
d) используемые коэффициенты чувствительности (как по высоте, так и по площади) и их источ
ники. например: от производителя, внутренние стандарты, теория.
е) любые другие использованные поправочные факторы и их обоснование, например, шерохова
тость образца, обратное рассеяние, матричные эффекты;
0 оцениваемая погрешность, описанная, например, в ИСО 20903;
д) метод, используемый для выделения высоты пика или площади пика из примыкающих пиков
в случае, когда предоставляется информация об атомной доле компонентов, имеющих определенное
химическое состояние;
3