ГОСТ Р ИСО 14644-8—2014
Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТР О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды
Ч а с т ь 8
Классификация чистоты воздуха
по концентрации химических загрязнений
Cteanrooms andassociated controlled environments. Part8.
Classification ofair cleanliness bychemical concentration
Дата введения — 2015—12—01
1 Область применения
Настоящий стандарт устанавливает классификацию чистоты воздуха по концентрации химиче
ских загрязнений (АСС) для чистых помещений и связанных с ними контролируемых сред с учетом их
химического состава, методов испытаний и анализа с учетом фактора времени.
Стандарт рассматривает концентрации химических загрязнений в воздухе в пределах от 10° до
10’12 г/м3.
Стандарт не предназначен для применения в случаях, когда химические загрязнения в воздухе
не представляют опасности для продукции или процесса.
Настоящий стандарт не содержит описание природы химических загрязнений и не устанавлива
ет классификацию чистоты поверхностей по концентрации химических загрязнений.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ИСО 14644-6 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Термины и опре
деления (ISO 14644-6 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 6: Vocabulary).
Для датированных ссылок применяют только версию, приведенную в тексте. Для недатирован
ных ссылок необходимо использовать последнее издание документа (включая любые поправки).
3 Термины и определения
В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями:
3.1 Общие термины
3.1.1 химические загрязнения (chemical contamination): Вещества (не частицы), которые могут
оказать отрицательное влияние на продукт, процесс или оборудование.
3.1.2 чистота воздуха по концентрации химических загрязнений: ACC (air cleanliness by
chemical concentration; ACC): Уровень, выраженный как ИСО класс N. равный максимально допусти
мой концентрации данного химического загрязнения или группы загрязнений, выраженной в граммах на
кубический метр (г/м3).
П р и м е ч а н и е - Это определение не включает макромолекулы биологического происхождения, рас
сматриваемые как частицы.
3.1.3 химические загрязнения воздуха (air chemical contamination): Любое вещество в воздухе,
которое может химическим путем негативно воздействовать на продукт, процесс или оборудование.
3.1.4 чистота поверхности по концентрации химических загрязнений; SCC (surface cleanli
ness by chemical concentration. SCC): Чистота поверхности, характеризуемая концентрацией химиче
ских загрязнений на ней.
3.1.5 химическое загрязнение поверхности (surface chemical contamination): Любое вещество
на поверхности, которое может химическим путем негативно воздействовать на продукт, процесс или
оборудование.
3.1.6 вид загрязнения (contaminant category): Общее наименование группы загрязнений, кото
рые оказывают специфическое или отрицательное воздействие при оседании их на поверхность.
3.1.7 выделение (outgassing): Выделение материалом газов или паров.
Издание официальное
1