ГОСТ Р ИСО 14644-8—2014
- оборудование;
- химические вещества;
- побочные продукты реакции, особенно от реакций травления или химического осаждения из
паровой фазы (реакция CVD);
- нагреватели, изоляция, компьютеры, дисплеи, принтеры, электроника;
- утечки химических веществ, охлаждающих жидкостей, отходы, испарения канализационных
стоков, антистатическая обработка.
А.9 Подготовка воздуха с целью уменьшения химических загрязнений
Для контроля или уменьшения отдельных видов химических загрязнений можно использовать
процессы:
- сорбции определенными материалами (активированный уголь, обработанный активированный
уголь, ионообменная смола, цеолиты и пр.);
- фотоэлектронной ионизации и электростатического удаления ионов;
- каталитического фотоокисления;
- обработки воздуха с применением воды и/или химических веществ с применением срубберое идр.
8