ГОСТ Р 8.841—2013
Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТР О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
Государственная система обеспечения единства измерений
СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ ЭКСПОЗИЦИОННОЙ ДОЗЫ И ЭНЕРГЕТИЧЕСКОЙ ОСВЕЩЕННОСТИ
В ДИАПАЗОНЕ ДЛИН ВОЛН 1—10 нм
Методика поверки
State system for ensuring the uniformity of measurements. Instruments for measurement of exposure
and irradiance in the wavelength range 1to 10 nm. Verification procedure
Дата введения — 2015—02—01
1 Область применения
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик экстремального
ультрафиолетового (далее — ЭУФ) излучения — радиометры (дозиметры) ЭУФ-излучения. используе
мыедля измерений энергетической освещенности (далее — ЭО) и экспозиционной дозы (далее — ЭД) в
диапазонедлин волн 1—10 нм, иустанавливает методику их поверки.
Средства измерений характеристикУФ излучения обеспечивают вдиапазоне длин волн 1—10 нм
измерения ЭД в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 10~7 Дж,
верхняя — не менее2 ■10-1Дж иЭОвдинамическомдиапазоне, нижняя границакоторогосоставляет не
более 0.01 Вт/м2, верхняя — не менее 20 Вт/м2.
Межповерочный интервал — один год.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ГОСТ 8.552—2001 Государственная система обеспечения единства измерений. Государствен
ная поверочная схема для средств измерений потока излучения иэнергетической освещенности вдиа
пазонедлин волнот 0.03до 0.40 мкм
ГОСТ Р 8.736—2011 Государственная система обеспечения единства измерений. Измерения
прямые многократные. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения
П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч
ных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального
агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодному информационному
указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по соот
ветствующим ежемесячным информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный
стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим
(измененнымСтандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на
него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.
3 Операции поверки
При проведении поверки выполняютоперации, указанные втаблице 1.
Издание официальное
1