ГОСТ Р 8.841—2013
УДК 543.52:535.214.535.241:535.8:006.354ОКС 17.020Т84.10ОКСТУ0008
Ключевые слова: экстремальный ультрафиолет, энергетическая освещенность, экспозиционная доза,
средства измерений, ультрафиолетовое излучение, радиометр
Редактор Л.Ю. Томипин
Технический редактор Е.В. БослрОаеанная
Корректор И.А Королева
Компьютерная верстка И.А Налейкинои
Сдано в набор 12.02.2015.Подписано в печать 26.02.201SФормат 60 х 64Гарнитура Ариап.
Уел. печ. п. 1.40. Уч.-иад. л. 1,10.Тираж SO
jo
.
Зак. 941.
1
Издано и отпечатано во ФГУП «СТАНДЛРТИНФОРМ», 123995 Москва. Гранатный пер.. 4.
www.gos inio.ru
info@
90
sbnfo.ru
ГОСТ Р 8.841-201
3