ГО СТ Р 8.763— 2011
ров вдиапазоне от 0 до 100 мм. меры внутренних диаметров — измерительные кольца и приборы для
поверки средств измерений внутренних размеров вдиапазоне от 0.5 до 500 мм.
3.3.4.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей 5 при доверительной вероятности
0.99 рабочих эталонов 4-го разряда составляют от ± 0.2 мкмдо ± (0,5 ♦ 5L) мкм.
3.3.4.3 Рабочие эталоны 4-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений —
плоскопараллельных концевых мердлины, установочных концевых мер, проволочек, роликов, принад
лежностей к концевым мерам (боковиков) методом сличения с помощью компаратора, приборов для
измерений наружных размеров, штангенинструмента. приборов для измерений наружных и внутренних
размеров, нутромеров методом прямых измерений, установочных колец, плоскопараллельных конце
вых мер длины методом сличения с помощью компаратора.
3.4 Рабочие эталоны 4-й части
3.4.1 Рабочие эталоны 1-го разряда
3.4.1.1 В качестве рабочих эталонов 1-го разряда используют рельефные меры в диапазоне от
10-9до 10-2м. микроскопы с лазерным интерферометром и лазерные измерители перемещений вдиа
пазоне от 10-9до 10-2 м.
3.4.1.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей б при доверительной вероятности
0.99 рабочих эталонов 1-го разряда составляют от ± 1 до± 10 нм.
3.4.1.3 Рабочие эталоны 1-го разряда применяют для поверки рабочих эталонов 2-го разряда —
рельефных мер, электронных растровых измерительных микроскопов и сканирующих зондовых
атомно-силовых микроскопов методом прямых измерений.
3.4.2 Рабочие эталоны 2-го разряда
3.4.2.1 В качестве рабочих эталонов 2-го разряда используют рельефные меры, электронные
растровые измерительные микроскопы исканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы вдиапа
зоне от Ю ’э до 1 0 2м.
3.4.2.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей 6 при доверительной вероятности
0.99 рабочих эталонов 2-го разряда составляют от ± 3до ± 50 нм.
3.4.2.3 Рабочие эталоны 2-го разряда применяют для поверки рабочих средств измерений —
рельефных мер. электронных растровых измерительных микроскопов и сканирующих зондовых
атомно-силовых микроскопов методом прямых измерений.
4 Рабочие средства измерений
4.1 Рабочие средства измерений 1-й части
4.1.1 В качестве рабочих средств измерений используют спектрометры и спектрофотометры в
диапазоне от 0,2 до 50 мкм. частотно-стабилизированные лазеры непрерывного излучения и частот но-
стабилизированные и нестабилизированные лазеры непрерывного излучения — меры длин волн в
диапазоне от 0,4 до 11 мкм. измерители длин волн лазеров непрерывного излучения и лазерные
спектрометры в диапазоне от 0,4 до 11 мкм. измерители длин волн лазеров импульсного излучения и
лазеры импульсного излучения вдиапазоне от 0,4 до 1.2 мкм.
4.1.2 Доверительные границы относительных погрешностей ^ при доверительной вероятности
0.99 частотно-стабилизированных лазеров повышенной точности составляют от 1 ■10’10до 3 ’ 10’8.
4.1.3 Пределы допускаемыхотносительных погрешностей \ рабочих средств измерений состав-
ляют от i 3 •10"вдо ± 1 -10-2.
4.2 Рабочие средства измерений 2-й части
4.2.1 В качестве рабочих средств измерений используют измерители линейных перемещений в
диапазоне от 0.01 до 30000 мм. штриховые меры длины в диапазоне от 0,1 до 2000 мм. измерительные
преобразователи линейных перемещений вдиапазоне от 0до 32000 мм, приборы для измерений наруж
ных и внутренних размеров в диапазоне от 0до 1000мм. складные меры и измерительныелинейки вдиа-
пазонеотО до 1000 мм. нивелирные рейки вдиапазоне отО до4000 мм, лесные вилки вдиапазонеот 1до
750 мм. измерительные рулетки длиной до 100 м. землемерные ленты длиной до 50 м. мерные
проволоки длиной до 24 м.
4.2.2 Пределы допускаемых абсолютных погрешностей Д рабочих средств измерений составля
ют от 10,05 мкмдо
1
14 мм.
4.3 Рабочие средства измерений 3-й части
4.3.1В качестве рабочих средств измерений используют плоскопараллельные концевые меры
длины в диапазоне от 0,1 до 1000 мм. контактные интерферометры с ценой деления от 0,02 до 0.2 мкм,
5