ГО СТ Р 8.763— 2011
2 Вторичные эталоны
2.1 Вторичные эталоны 1-й части
2.1.1 В качестве вторичных эталонов используют частотно-стабилизированные лазеры в диапа
зонедлин волн от 0,4 до 11 мкм.
2.1.2 Среднеквадратические отклонения суммарной погрешностирезультатов сличений вто
ричных (рабочих) эталонов с государственным первичным эталоном при 100 независимых измерениях
составляют от 1 - 10-11 до 1 10~9.
2.1.3 Вторичные (рабочие) эталоны применяют для передачи единицы длины рабочим эталонам
1-го и 2-го разрядов методом сличения с помощью компаратора и методом прямых измерений, а также
рабочим средствам измерений — частотно-стабилизированным лазерам непрерывного
излучения методом сличения с помощью компаратора.
2.2 Вторичные эталоны 2 части
2.2.1 В качестве эталонов-копий используют интерференционные установки для поверки штрихо
вых мер длины вдиапазоне от 0.001 до 1000 мм.
2.2.2 Среднеквадратические отклонения суммарной погрешности S, результатов сличений эта
лонов-копий с государственным первичным эталоном не должны превышать (0,02 ♦ 0.04L) мкм. где L —
длина, м.
2.2.3 Эталоны-копии применяют для поверки рабочих эталонов 1-го разряда — штриховых мер
длины, дифракционных голографических мер длины, а также рабочих средств измерений — измерите
лей линейных перемещений методом прямых измерений.
2.2.4 В качестве вторичных (рабочих) эталонов используют штриховые меры длины и установки
для поверки штриховых мердлины в диапазоне от 0,1 до 1000 мм.
2.2.5 Доверительные границы абсолютных погрешностей 8при доверительной вероятности 0,99
составляют от± (0.03 ♦ 0,1/.)до± (0,05 ♦ 0,1L )
m
k
m
. где/. — длина в метрах.
2.2.6 Вторичные эталоны применяют для поверки рабочих эталонов 1-го разряда — штриховых
мердлины,дифракционных голографических мер длины методом прямых измерений и методом сличе
ния с помощью компаратора.
2.3Вторичные эталоны 3-й части
2.3.1 В качестве эталонов-копий используют интерференционные установки для поверки плоско-
параллельных концевых мер длины вдиапазонах от 0.1 до 100 мм и от 100 до 1000 мм.
2.3.2 Среднеквадратические отклонения суммарной погрешности S, результатов сличений эта
лонов-копий с государственным первичным эталоном не должны превышать (0,01 ♦ 0.04L) мкм. где L —
длина, м.
2.3.3 Эталоны-копии применяют для поверки вторичных эталонов — интерференционных уста
новок для измерений внутренних размеров от 0,5 до 200 мм методом сличения с помощью мер сравне
ния, рабочих эталонов 1-го разряда — плоскопараллельных концевых мер длины и кварцевых
геодезических жезлов методом прямых измерений, а также установок для поверки средств измерений
внутренних размеров методом сличения с помощью мер сравнения.
2.3.4 В качестве вторичных эталонов используют интерференционные установки для поверки
плоскопараллельных концевых мер длины вдиапазонахот 0.1 до 100 мм и от 100 до 1000 мм и интерфе
ренционные установки для измерений внутренних размеров от 0,5 до 200 мм.
2.3.5 Доверительные границы абсолютных погрешностей 8при доверительной вероятности 0.99
составляют от ♦(0,02 * 0.1L) мкмдо 1(0.05 + 0.1L) мкм, где L — длина, м.
2.3.6 Вторичные эталоны применяютдля поверки рабочих эталонов 1-го разряда — плоскопарал
лельных концевых мер длины, мер внутренних диаметров — измерительных колец методом прямых
измерений и рабочих средств измерений — плоскопараллельных концевых мердлины методом прямых
измерений.
2.4Вторичные эталоны 4-й части
2.4.1 В качестве вторичных (рабочих) эталонов используют лазерные измерители перемещений в
диапазоне от 10 9до 10~2м.
2.4.2 Доверительные границы абсолютных погрешностей 8при доверительной вероятности 0,99
составляют от ♦0.5 до ± 3.0 нм.
2.4.3 Вторичные эталоны применяютдля поверки рабочих эталонов 1-го разряда — микроскопов
с лазерным интерферометром и лазерных измерителей перемещений в диапазоне от 10’9 до 10-2 м
методом непосредственного сличения.
2