ГОСТ Р 8.763—2011
Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТР О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
Государственная система обеспечения единства измерений
ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ДЛИНЫ
В ДИАПАЗОНЕ О Т 1 10“* ДО 50 м И ДЛИН ВОЛН В ДИАПАЗОНЕ О Т 0,2 ДО 50 мкм
State system for ensuring the uniformity of measurements.
State verification schedule for measuring instruments of length in the range from 1 •10-9 to 50 m and
wavelength In the range from 0,2 to 50pm
Дата введения — 2013— 01— 01
Настоящий стандарт распространяется на государственную поверочную схемудля средств изме
рений длины вдиапазоне от 1 10 9до 50 м идлин волн в диапазоне от 0.2 до 50 мкм (далее — государ
ственная поверочная схема) и устанавливает порядок передачи единицы длины от государственного
первичного эталона единицы длины — метра (далее — государственный первичный эталон) рабочим
средствам измерений с помощью вторичных и рабочих эталонов с указанием погрешностей и основных
методов поверки.
Государственная поверочная схема состоит из четырех частей:
часть 1. Источники излучений и средства измерений длин волн [рисунок А.1(приложение А)];
часть 2. Меры длины штриховые и измерители перемещений [рисунок Б. 1(приложение Б));
часть 3. Меры длины концевые плоскопараллельные [рисунок В. 1(приложение В)];
часть 4. Измерители перемещений, меры рельефные и микроскопы в области нанодиапазона
[рисунок Г.1 (приложение Г)].
1 Государственный первичный эталон
Государственный первичный эталон представляет собой комплекс, в состав которого входят сле
дующие средства измерений:
- источник эталонного излучения — He-Ne/I2 лазер, стабилизированный по линии насыщенного
поглощения в молекулярном йоде — 127;
- установка для измерений разности частот источников лазерного излучения;
- универсальный интерференционный метровый компаратор;
- лазерный интерференционный тридцатиметровый компаратор;
- лазерный интерференционный компаратордля измерений длины в субмикронном и нанодиапа
зоне;
- гетеродинный интерферометр.
Номинальное значение длины волны, при котором воспроизводится единица, составляет
0.633 мкм.
Государственный первичный эталон обеспечивает воспроизведениеединицы со среднеквадрати
ческим отклонением результата измерений S0, не превышающим 5.6 ■10-12 при 100 независимых изме
рениях.
Неисключенная систематическая погрешность (-)0 не превышает 2,2 ■10-’2.
Государственный первичный эталон применяют для передачи единицы длины вторичным и рабо
чим эталонам методом прямых измерений и методом сличения с помощью компаратора и мер срав
нения.
Издание официальное
1