ГОСТ Р ИСО 15367-1—2012
П р и м е ч а н и я
1 Определение wma требует измерений распределения плотности мощности (энергии) Е{х, у).
2 Визуально необходимо убедиться а том. что на результаты измерений волнового фронта незначительно
влияют излучения, дифрагированные элементы измерительной установки и окружающее оборудование.
7 Неопределенность
7.1 Требования к оценке неопределенности
Описания любых измерений, представленных в настоящем стандарте, должны содержать оценки
как значений измеренных величин, так и суммарной и расширенной неопределенностей наряду со зна
чением коэффициента охвата. При обработке данных следует руководствоваться рекомендуемыми [6]
методиками определения неопределенностей типов А и В. Должны быть проанализированы все источ
ники неопределенностей и дана оценка их вклада в расширенную или суммарную неопределенность.
Если данный источник неопределенности вносит в суммарную неопределенность менее 20 %, его
влиянием на точность результата допускается пренебречь.
7.2 Источники неопределенности
7.2.1 Неопределенность, вносимая системой сбора и регистрации экспериментальных
данных
Многие источники неопределенности связывают с использованием ПЗС-камеры ианалого-цифро
вого преобразователя (далее — АЦП). Фазовое дрожание синхронизирующих импульсов схемы управ
ления ПЗС-камерой приводит к существенной неопределенности в позиционировании пикселей.
Сочетание этого эффекта с неравномерностью их расположения в пространстве и нелинейностью ди
намического диапазона порождает возрастание неопределенностей при определении центров
интерференционных полос или мест расположения центроидов экрана Гартмана.
Эффект квантования восьмиразрядным АЦП является источником незначительных неопределен
ностей при работе во всем динамическом диапазоне. Применение десятиразрядного АЦП позволяет в
любом случае исключить из рассмотрения эту составляющую неопределенности.
7.2.2 Неопределенность, вызываемая влиянием окружающей среды
Флуктуации мощности (энергии) пучка лазерного излучения могут вызывать неопределенности
при локализации местоположений интерференционных полос/лятен и при оценке полиномиальных ко
эффициентов.
Статистическая обработка серии повторяющихся экспериментов способствует сокращению не
определенности типа А. но медленные вариации неопределенностей типа В приводят к снижению точ
ности результатов. Выходом из такого положения может быть мониторинг этих вариаций
дополнительно вводимыми в измерительную установку датчиками, реагирующими на соответствующие
внешние воздействия. Их выходные сигналы могут быть либо использованы для корректировки получа
емых результатов, либо (что предпочтительнее) введены в цепь обратной связи с системами
управления лазером.
Вариации измеряемых параметров, вызываемые такими воздействиями внешней среды, как виб
рации. турбулентность атмосферы, изменения температуры, должны быть минизированы способами,
описанными в 4.3.
7.2.3 Неопределенность, вызываемая дефектами оптической системы и механических
узлов установки
Основным источником неопределенности можетбыть появление в плоскости измерений интерфе
ренционных полос в результате порождаемых паразитныхотражений и рассеяния излучения царапина
ми, покрытиями и другими дефектами оптических элементов, расположенных вдоль трассы
распространения пучка. Тщательная очистка оптических элементов и введение в необходимых местах
тракта экранов и перегородок помогает существенно ослабить влияние этих источников неопределен
ности. В случае возникновения эффекта когерентного оптического шума при длительной работе с не
прерывным или длинноимпульсным излучением следует выполнить усреднение результатов
введением в оптический тракт подвижного диффузора.
Для уменьшения систематических составляющих неопределенности типа В следует провести ка
либровку фазоизмерительной аппаратуры. Для этого используют сертифицированную плоскую опор
ную (референтную) поверхность или другой корректор [1], обеспечивающий получение пучка с
известной формой волны. Картирование волнового фронта такого пучка позволяет оценить погреш-
11