ГОСТ Р ИСО 15367-1—2012
c) при использовании сканирующего устройства следуетубедиться впространственной и времен
ной стабильности пучка выходного лазерного излучения в течение временного промежутка работы ска
нера:
d) при измерениях распределения фазы импульсного лазера время задержки запускающего сиг
нала и интервал дискретизации должны быть измерены и зарегистрированы:
e) во избежание значительных искажений волнового фронта пучка следует обратить особое вни
мание на оптические свойства оптических элементов, вводимых в трассу распространения излучения;
источником существенных интерференционных эффектов может быть защитное входное окно прибора с
зарядовой связью (далее — ПЗС) — ПЗС-камеры.
Регистрируют все характеристики приемника излучения. Для его согласования с системой обра
ботки информации необходимо подобрать преобразователь с требуемыми разрешающей способнос
тью, линейностью характеристики преобразования и динамическим диапазоном.
4.6 Средства измерений волнового фронта
4.6.1 Методики измерений
Существуют две методики измерений волнового фронта: интерферометрия и дефлектометрия.
Первая из них находит применение при измерениях волновых фронтов когерентных излучений, в то
время как вторая не обязательно зависит от степени когерентности излучения или наличия единого не
прерывного волнового фронта. Основные принципы этих методик представлены в 4.6.2 и 4.6.3
настоящего стандарта, а их детальное описание приведено в ИСО 15367-2.
4.6.2 Средства измерений градиента волнового фронта
Существует несколько типов средств измерений градиента фазы или волнового фронта, пригод
ных для определения распределения волнового фронта или фазы пучка лазерного излучения. К ним. в
частности, относятся интерферометр сдвига, измерительные преобразователи волнового фронта Гар
тмана и Шока-Гартмана. а также муаровый дефлектометр. С помощью этих средств измерений градиен
ты (волнового фронта или фазы) измеряют предпочтительно в направлениях ортогональных осей.
4.6.3 Самокалибруемые интерферометры
Вотличие от множества средств измерений и инструментов, применяемых для контроляоптических
элементов, собственно интерферометр, используемый при определении параметров лазерных пучков,
является источником опорного (референтного) пучка. (Детальное описание подобных интерферометров
приведено в публикациях [1J и [2].) К таким средствам измерений относят интерферометры сдвига. По
сколькув подобных интерферометрах трасса распространения интерферирующих пучков общая, они су
щественно меньше подвержены влиянию вибраций, чем средства измерений с разными путями распрос
транения объектного и опорного (референтного) пучков.
Более того, самокалибруемые интерферометры пригодны для работы с лазерными пучками, об
ладающими малой временнбй когерентностью, а также со сверхкороткоимпульсными лазерами.
Интерферометр Саньяка с большим радиальным сдвигом формирует интерференционные полосы,
хорошо аппроксимирующие контуры одинаковой фазы на поверхности волнового фронта. Аналогичные
результаты получают при использовании интерферометра Смарта с точечной дифракцией.
Для уменьшения неопределенности измерений и ослабления шумов используют методику фазо
вого сдвига. В подобных средствах измерений оптическая разность хода интерферирующих волновых
фронтов варьируется; при этом регистрируется функциональная зависимость получаемых интерферог
рамм от варьируемой разности хода.
Последующая алгебраическая обработка данных обеспечивает получение изображения исходного
волнового фронта, при условии незначительных его изменений винтервалах междусоседними интерфе
рограммами. При измерениях, выполняемых на пучках импульсных или обладающих нестабильностью
качества лазеров, могут быть получены недостоверные результаты измерений.
При использовании интерферометров для измерений распределений фазы рекомендуется руко
водствоваться основными положениями международного стандарта [3].
5 Методики испытаний и измерений
5.1 Юстировка
Пучок лазерного излучения, подлежащий измерениям, и формирующая его оптическая система
должны быть коаксиальны средствам измерений волнового фронта. Юстировку проводят с применени
ем подходящих оптических приборов. Чувствительность установки к разъюстировке должна быть оце-
8