ГОСТ Р ИСО 15367-1—2012
- принятьвсе возможныемерык устранениюотраженныхлучистыхпотоков ирассеянного излучения;
- удалить пыль с трассы распространения пучка и очистить все оптические поверхности;
- путем конструирования иэкранирования минимизировать шумы электронной аппаратуры и влия
ние электромагнитных помех;
- обеспечить механическую и акустическую защищенность лазера и фазоизмерительной аппара
туры;
- осуществить контроль за состоянием атмосферы потрассе распространения пучка воизбежание
ухудшения его качества из-за загрязняющих паров и тепловых турбулентностей.
4.4 Преобразования пучка
4.4.1 Отбор части пучка
В процессе измерений возникает необходимость при оценке качества или ослаблении интенсив
ности пучка до приемлемого уровня отобрать (отделить) его часть без существенного влияния на полу
чаемый результат. В этом случае средства, используемые для отделения части пучка, не должны
обладать оптическими аберрациями (включая тепловую дисторсию, рассеяние и паразитные отраже
ния элементами аппаратуры), влияние которых на форму/поверхность волнового фронта вызывает до
полнительную неопределенность, превышающую более чем на 10 % неопределенность ожидаемого
результата измерений. Физические и оптические свойства и характеристики элементов отбора части и
ослабления пучка должны быть описаны в протоколе измерений.
4.4.2 Формирование пучка
В случае если поперечные размеры (или расходимость пучка) не соответствуют размерам входной
апертуры измерительной аппаратуры, следует использовать формирующую требуемый пучок оптическую
систему, элементы которой и система в целом должны при этом удовлетворять ряду требований;
- слабые аберрации и высококачественные оптические элементы;
- соответствие оптических материалов рабочей длине волны;
- качество оптических материалов и их покрытий должно исключать возможность возникновения
дифракционных эффектов и явлений деградации волнового фронта, вызванных прохождением излуче
ния сквозь оптическую систему;
- оптическая система должна быть доступной в целом и поэлементно для визуального осмотра с
целью определения дефектов, искажающих измеряемый волновой фронт;
- оптическая система должна быть предельно защищена от попадания пыли и влияния вибраций;
- монтаж оптической системы должен исключать возможность чрезмерного сжатия ее оптических
элементов во избежание возникновения двойного лучепреломления;
- изменения мощности (энергии) пучка должны быть в режиме пренебрежимо малых термических
искажений;
- ось оптической системы должна быть съюстироеана относительно оси лазерного пучка.
Допускаемые искажения волнового фронта, вносимые формирующей оптической системой и вли
яющие на параметры инварианта распространения пучка, не должны вызывать дополнительную не
определенность измерений более 10 % ожидаемой основной неопределенности результата.
После окончательной оценки свойств лазерного пучка, относящихся копределению его волнового
фронта, впротокол измерений вносят сведения о физических и оптических характеристиках формирую
щей оптической системы, расположенной между лазером и средством измерений волнового фронта.
4.5 Приемно-усилительное устройство
Изучение изображений, формируемых средством измерений распределения фазы, требует приме
нения двухкоординатного приемника излучения или сканирующего устройства с высоким пространствен
ным разрешением и минимальными уровнями оптического и электронного шумов. Неопределенность
измерений непосредственно зависит от пространственной разрешающей способности системы иотноше
ния сигнал-шум.
Положения МЭК 61040 распространяются на системы приема ипреобразования оптического излу
чения. Кроме того, в протокол измерений должна быть включена следующая информация;
a) при данной длине волнылазерного излучения по сертификату производителя или эксперимен
тально должны быть определены уровень насыщения, отношение сигнал-шум и линейность характе
ристики преобразования интенсивности излучения, поступающего на вход приемно-усилительного
устройства;
b
) лучевая стойкость чувствительной поверхности приемника излучения должна соответствовать
предельной плотности интенсивности излучения в поперечном сечении пучка;
7